Осаждение графена на большую поверхность путем гетероэпитаксиального роста и содержащие его изделия - RU2012108641A

Реферат

1. Способ получения тонкой графеновой пленки, который включаетприготовление несущей подложки;нанесение тонкой пленки катализатора непосредственно или косвенно на несущую подложку;введение содержащего углеводороды газа в область вблизи тонкой пленки катализатора;нагревание несущей подложки, чтобы заставить содержащий углеводороды газ, по меньшей мере, частично выделить углерод из содержащего углеводороды газа и стимулировать рост графена в и/или на тонкой пленке катализатора; ибыстрое охлаждение несущей подложки, стимулирующее кристаллизацию графена, непосредственно или косвенно, на самой внешней поверхности тонкой пленки катализатора с получением тонкой графеновой пленки.2. Способ по п.1, в котором тонкая пленка катализатора имеет практически моноориентированную крупнозернистую кристаллическую структуру, причем длина кристаллов в тонкой пленке катализатора вдоль главной оси составляет порядка десятков микрометров.3. Способ по п.1, в котором тонкая пленка катализатора включает металл.4. Способ по п.3, в котором тонкая пленка катализатора включает, по меньшей мере, один из следующих металлов: никель, кобальт, железо, пермаллой, сплав никеля и хрома, медь и их сочетания.5. Способ по п.4, в котором тонкая пленка катализатора включает сплав никеля и хрома, и в котором сплав никеля и хрома содержит 3-15% хрома.6. Способ по п.1, в котором содержащий углеводороды газ включает газообразный СН.7. Способ по п.1, в котором содержащий углеводороды газ включает газообразные СНи Ar.8. Способ по п.1, в котором содержащий углеводороды газ вводят при давлении, составляющем 5-150 мТорр (0,665-19,95 Па).9. Способ по п.1, в котором несущую подложк�