Способ и система очистки трехфтористого азота - RU2007140787A

Реферат

1. Способ очистки трехфтористого азота NF3, включающий стадии: ! (а) обеспечение сырого продукта, содержащего NF3 и по меньшей мере одну примесь, причем эта примесь содержится в первой концентрации; ! (б) контактирование сырого продукта с адсорбентом, представляющим собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила и ! (в) выделение NF3 из адсорбента с получением очищенного NF3, содержащего примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация меньше, чем первая концентрация. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адсорбент включает гранулы с площадью поверхности от примерно 500 м2/г до примерно 1500 м2/г по весу и размером пор от примерно 10 Е до примерно 15 Е. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что указанные гранулы имеют площадь поверхности примерно 1000 м2/г и размер пор равный примерно 13 Е. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что примесь представляет собой CF4. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что первая концентрация CF4 составляет от примерно 4 ч./млн по объему до примерно 5 об.%. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что вторая концентрация составляет менее 1 ч./млн по объему. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадия контактирования длится от примерно 1 до примерно 100 с. ! 8. Система для непрерывной очистки трехфтористого азота NF3, содержащая: ! (а) поток исходного сырого продукта, содержащего NF3 и по меньшей мере одну примесь, при этом примесь содержится в первой концентрации; ! (б) адсорбент, представляющий собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила, которое находится в контакте с потоком исходного продукта, и ! (в) очищенный NF3, содержащий примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация ме�