Способ получения порошка нитрида кремния - SU505337A3

Код документа: SU505337A3

Описание

3 териала, содержащего порошок кремния, в газовой атмосфере и изотермическую выдержку в процессе реакции кремния с азотом, от л ичающийся тем, что, с целью повышения ка4 чества порошка, в исходный материал вводят нитрид кремния в а-фазе, а поддержание температуры реакции осуществляют разбавлением газовой атмосферы инертным газом.