Термоисточник - RU2008146103A

Реферат

1. Термоисточник, расположенный за пределами реактора устройств для осаждения из паровой фазы, для подачи исходного вещества в реактор, где источник (1) содержит контейнер (2) для источника, имеющий полость (4) источника для исходного вещества, причем контейнер (2) для источника выполнен с возможностью съемного присоединения к крышке (6), имеющей первое нагревательное устройство (8) для нагревания крышки (6) таким образом, что тепло за счет теплопроводности передается контейнеру (2) для источника и далее полости (4) источника для нагревания исходного вещества, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя обогреваемый подводящий канал (14), находящийся в жидкостной связи с полостью (4) источника, для подачи исходного вещества из полости (4) источника в реактор таким образом, что между контейнером (2) для источника и реактором достигается возрастающий градиент температуры. ! 2. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что первое нагревательное устройство (8) включает в себя один или несколько термических картриджей, устанавливаемых в крышке (6) с возможностью съема. ! 3. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что первое нагревательное устройство (8) включает в себя один или несколько терморезисторов, установленных в крышке (6). ! 4. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя термометр (10) для измерения и регулирования температуры крышки (6) с целью регулирования температуры контейнера (2) для источника и полости (4) источника до требуемого уровня. ! 5. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя один или несколько устройств, устанавливаемых на пов�