Устройство для генерирования жесткого ультрафиолетового света и его приложения к источнику жесткой ультрафиолетовой радиации для литографии - RU2006143322A

Реферат

1. Устройство для генерирования излучения в крайней ультрафиолетовой области (EUV), содержащее:a) группу источников лазерного излучения высокой мощности для испускания лазерных пучков (12);b) фокусирующие средства (11; 111) для фокусирования лазерных пучков (12) с формированием сфокусированных лазерных пучков (1);c) средства для создания откачанного объема с давлением менее 1 Па, по меньшей мере, в области фокусировки указанных сфокусированных лазерных пучков (1);d) элемент (2) для формирования плотной мишени (4) в области фокусировки указанных сфокусированных лазерных пучков (1), причем плотная мишень (4) способна взаимодействовать со сфокусированными лазерными пучками (1) с испусканием плазмы, по меньшей мере, одна из линий спектра испускания которой находится в крайней ультрафиолетовой области;e) принимающий элемент (3) для приема мишени (4) после ее взаимодействия со сфокусированными лазерными пучками (1);f) по меньшей мере, один первый компонент (10; 110) для сбора EUV-излучения, испускаемого мишенью (4),отличающееся тем, что имеет среднюю ось сбора EUV-излучения, перпендикулярную оси, задаваемой, по существу, линейной плотной мишенью (4), причем фокусирующие средства (11; 111) для фокусирования лазерных пучков на мишени (4) расположены так, что лазерные пучки (1) сфокусированы на боковой поверхности мишени (4), находятся в одном и том же полупространстве относительно мишени (4) и наклонены относительно указанной средней оси (6) сбора под углом (β), лежащим в интервале от приблизительно 60 до приблизительно 90°, а первый собирающий компонент (10; 110) расположен симметрично относительно средней оси (6) сбора в полупространстве, содержащем лазерные п