Способ обработки пучком нейтральных частиц, основанный на технологии обработки пучком газовых кластерных ионов, и полученные таким образом изделия - RU2014138019A

Реферат

1. Способ обработки поверхности оптического элемента, содержащий этапы, на которых:обеспечивают камеру с пониженным давлением;формируют пучок газовых кластерных ионов, содержащий газовые кластерные ионы внутри камеры с пониженным давлением;ускоряют газовые кластерные ионы с образованием пучка ускоренных газовых кластерных ионов вдоль траектории пучка внутри камеры с пониженным давлением;стимулируют фрагментацию и/или диссоциацию по меньшей мере части ускоренных газовых кластерных ионов вдоль траектории пучка;удаляют заряженные частицы с траектории пучка с образованием ускоренного нейтрального пучка вдоль траектории пучка в камере с пониженным давлением;удерживают оптический элемент на траектории пучка;обрабатывают по меньшей мере участок поверхности оптического элемента путем облучения его ускоренным нейтральным пучком; ипричем этапы стимулирования и удаления выполняют до облучения поверхности.2. Способ по п. 1, в котором на этапе удаления удаляют по существу все заряженные частицы с траектории пучка.3. Способ по п. 1, в котором нейтральный пучок по существу не содержит кластеров промежуточных размеров.4. Способ по п. 1, в котором нейтральный пучок состоит по существу из газа из пучка газовых кластерных ионов.5. Способ по п. 1, в котором этап стимулирования включает в себя повышение ускоряющего напряжения на этапе ускорения или улучшение эффективности ионизации при формировании пучка газовых кластерных ионов.6. Способ по п. 1, в котором этап стимулирования включает в себя расширение диапазона скоростей ионов в ускоренном пучке газовых кластерных ионов.7. Способ по п. 1, в котором этап стимулирования включает в себя введение одн