Производственная установка для осаждения материала и электрод для использования в ней - RU2010146244A

Реферат

1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит: ! корпус, образующий камеру; ! впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в упомянутую камеру; ! выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из упомянутой камеры; ! по меньшей мере один электрод, расположенный проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри упомянутой камеры для приема контактного гнезда и причем упомянутый электрод имеет внутреннюю поверхность, образующую канал; ! источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода; ! циркуляционную систему, расположенную внутри упомянутого канала, для циркуляции охладителя через упомянутый электрод и ! покрытие канала, расположенное на упомянутой внутренней поверхности, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и охладителем. ! 2. Установка по п.1, при этом упомянутый по меньшей мере один электрод включает в себя первый электрод для приема контактного гнезда на первом конце несущей подложки и второй электрод для приема контактного гнезда на втором конце несущей подложки. ! 3. Установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя ствол и головку, образующую область контакта, причем упомянутая головка расположена на упомянутом стволе. ! 4. Установка по п.3, при этом упомянутый ствол имеет первый конец и �