Плазменная сопловая решетка для обеспечивания генерирования однородной расширяющейся микроволновой плазмы - RU2007107371A

Реферат

1. Способ для выбора конфигурации микроволновой плазменной сопловой решетки, причем способ содержит этапы, на которых:

направляют микроволны в микроволновый резонатор в противоположных направлениях, при которых микроволны интерферируют и формируют структуру стоячих микроволн, которая является постоянной в пределах микроволнового резонатора;

регулируют фазу, по меньшей мере, одной из микроволн для управления областями высоких энергий, генерируемых структурой стоячих микроволн; и

размещают сопловую решетку, по меньшей мере, частично в микроволновом резонаторе так, чтобы один или более сопловых элементов сопловой решетки был выполнен с возможностью приема энергии микроволн из соответствующей одной из областей высоких энергий.

2. Способ по п.1, в котором упомянутый этап, на котором направляют микроволны, включает в себя этапы, на которых:

передают микроволны в микроволновый резонатор и

отражают микроволны, используя подвижный короткозамыкатель, функционально соединенный с микроволновым резонатором.

3. Способ по п.1, в котором упомянутый этап, на котором направляют микроволны, включает в себя этап, на котором:

передают микроволны, сгенерированные двумя микроволновыми силовыми головками, в микроволновый резонатор.

4. Способ для выбора конфигурации микроволновой плазменной сопловой решетки, причем способ содержит этапы, на которых:

направляют первую пару микроволн в микроволновый резонатор в противоположных направлениях вдоль первой оси;

направляют вторую пару микроволн в микроволновый резонатор в противоположных направлениях вдоль второй оси, причем первая ось расположена перпендикулярно второй оси, так что первая и вторая пары микроволн интерферируют и формируют области высоких энергий, которые являются постоянными в пределах микроволнового резонатора;

регулируют фазу, по меньшей мере, одной из микроволн для управления областями высоких энергий и

размещают сопловую решетку, по меньшей мере, частично в микроволновом резонаторе так, чтобы один или более сопловых элементов сопловой решетки был выполнен с возможностью приема энергии микроволн из соответствующей одной из областей высоких энергий.

5. Способ по п.4, в котором упомянутый этап, на котором направляют первую пару микроволн, включает в себя этапы, на которых:

передают микроволны в микроволновый резонатор и

отражают микроволны, используя подвижный короткозамыкатель, функционально соединенный с микроволновым резонатором.

6. Способ по п.4, в котором упомянутый этап, на котором направляют первую пару микроволн, включает в себя этап, на котором

передают микроволны, сгенерированные двумя микроволновыми силовыми головками, в микроволновый резонатор.

7. Способ по п.4, дополнительно содержащий этапы, на которых:

генерируют микроволны с помощью микроволновой силовой головки и

обеспечивают разветвитель мощности, соединенный с микроволновой силовой головкой.

8. Способ по п.4, в котором упомянутый этап, на котором регулируют фазу, по меньшей мере, одной из микроволн, включает в себя этап, на котором регулируют фазы первой пары микроволн.

9. Способ по п.4, в котором упомянутый этап, на котором регулируют фазу, по меньшей мере, одной из микроволн, включает в себя этап, на котором регулируют фазы второй пары микроволн.

10. Способ по п.4, в котором упомянутый этап, на котором регулируют фазу, по меньшей мере, одной из микроволн, включает в себя этап, на котором регулируют фазы и первой пары, и второй пары микроволн.

11. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки, который содержит:

микроволновый резонатор и

решетку сопел, причем каждое из упомянутых сопел включает в себя:

газорасходную трубку, выполненную с возможностью направления через себя газового потока и имеющую входную часть и выходную часть; и

стержневой проводник, расположенный по направлению оси в упомянутой газорасходной трубке, причем упомянутый стержневой проводник имеет участок, расположенный в упомянутом микроволновом резонаторе для приема микроволн, и наконечник, прилегающий к выходной части.

12. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

вихревое направляющее устройство, расположенное между упомянутым стержневым проводником и упомянутой газорасходной трубкой, причем упомянутое вихревое направляющее устройство имеет, по меньшей мере, один проход для придания спиралеобразного направления потока вокруг упомянутого стержневого проводника газу, проходящему по упомянутому, по меньшей мере, одному проходу.

13. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п. 12, в котором упомянутый микроволновый резонатор включает в себя стенку, при этом упомянутая стенка упомянутого микроволнового резонатора образует участок прохода для газового потока, функционально соединенный с входной частью упомянутой газорасходной трубки.

14. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п. 11, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

экран, прилегающий к участку упомянутой газорасходной трубки, для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый экран сделан из проводящего материала.

15. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

заземленный экран, расположенный на внешней поверхности упомянутой газорасходной трубки для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый заземленный экран имеет отверстие для приема через него газового потока.

16. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.15, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

фиксатор, расположенный между упомянутым стержневым проводником и упомянутым заземленным экраном для надежного крепления упомянутого стержневого проводника к упомянутому заземленному экрану.

17. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутая газорасходная трубка сделана из кварца.

18. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя пару магнитов, прилегающих к упомянутой газорасходной трубке, при этом упомянутая пара магнитов имеет форму, приближенную к части цилиндра.

19. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

анод, прилегающий к части упомянутой газорасходной трубки; и

катод, прилегающий к другой части упомянутой газорасходной трубки.

20. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутый микроволновый резонатор включает в себя:

вход для микроволн и

подвижный короткозамыкатель, выполненный с возможностью отражения микроволн, переданных через упомянутый вход для микроволн.

21. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутый микроволновый резонатор включает в себя

два входа для микроволн, расположенных на противоположных сторонах упомянутого микроволнового резонатора.

22. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутый микроволновый резонатор включает в себя:

два входа для микроволн, расположенных на сторонах упомянутого микроволнового резонатора, которые перпендикулярны друг другу; и

два подвижных короткозамыкателя, выполненных с возможностью отражения микроволн, принятых упомянутыми входами.

23. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутый микроволновый резонатор включает в себя:

первую пару входов для микроволн, расположенных на противоположных сторонах упомянутого микроволнового резонатора по направлению первой оси;

вторую пару входов для микроволн, расположенных на противоположных сторонах упомянутого микроволнового резонатора по направлению второй оси, причем вторая ось по существу является перпендикулярной первой оси.

24. Блок микроволновой плазменной сопловой решетки по п.11, в котором упомянутый микроволновый резонатор выполнен с возможностью генерирования множества постоянных областей высоких энергий, используя микроволны, направленные в него, и в котором упомянутая часть упомянутого стержневого проводника располагается в пределах пространства, занятого упомянутыми постоянными областями высоких энергий.

25. Микроволновая плазменная система, которая содержит:

источник микроволн;

пару вентилей, функционально соединенных с упомянутым источником микроволн;

микроволновый резонатор, имеющий пару входов;

пару волноводов, причем каждый из упомянутых волноводов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых вентилей и с соответствующим одним из упомянутых входов упомянутого микроволнового резонатора; и

пару невращающих фазосдвигающих устройств, причем каждое из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с соответствующим одним из упомянутых вентилей; и

решетку сопел, причем каждое из упомянутых сопел включает в себя:

газорасходную трубку, выполненную с возможностью направления через себя газового потока и имеющую входную часть и выходную часть; и

стержневой проводник, расположенный по направлению оси в упомянутой газорасходной трубке, причем упомянутый стержневой проводник имеет участок, расположенный в упомянутом микроволновом резонаторе для приема микроволн, и наконечник, прилегающий к упомянутой выходной части.

26. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

вихревое направляющее устройство, расположенное между упомянутым стержневым проводником и упомянутой газорасходной трубкой, причем упомянутое вихревое направляющее устройство имеет, по меньшей мере, один проход для придания спиралеобразного направления вокруг упомянутого стержневого проводника потоку газа, проходящему по упомянутому, по меньшей мере, одному проходу.

27. Микроволновая плазменная система по п.26, в которой упомянутый микроволновый резонатор включает в себя стенку, при этом упомянутая стенка упомянутого микроволнового резонатора образует участок прохода для газового потока, функционально соединенный с входной частью упомянутой газорасходной трубки.

28. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

экран, прилегающий к участку упомянутой газорасходной трубки, для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый экран сделан из проводящего материала.

29. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

заземленный экран, расположенный на внешней поверхности упомянутой газорасходной трубки для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый заземленный экран имеет отверстие для приема через него газового потока.

30. Микроволновая плазменная система по п.29, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

фиксатор, расположенный между упомянутым стержневым проводником и упомянутым заземленным экраном для надежного крепления упомянутого стержневого проводника к упомянутому заземленному экрану.

31. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой упомянутая газорасходная трубка сделана из кварца.

32. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя пару магнитов, прилегающих к упомянутой газорасходной трубке, при этом упомянутая пара магнитов имеет форму, приближенную к части цилиндра.

33. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

анод, прилегающий к части упомянутой газорасходной трубки; и

катод, прилегающий к другой части упомянутой газорасходной трубки.

34. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой упомянутый микроволновый резонатор выполнен с возможностью генерирования множества постоянных областей высоких энергий, используя микроволны, направленные в него, и в которой упомянутая часть упомянутого стержневого проводника располагается в пределах пространства, занятого упомянутыми постоянными областями высоких энергий.

35. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой каждый из упомянутых вентилей включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный, по меньшей мере, с одним из упомянутых волноводов; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором.

36. Микроволновая плазменная система по п.25, которая дополнительно содержит:

пару блоков настройки, причем каждый из упомянутых блоков настройки функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и упомянутым микроволновым резонатором.

37. Микроволновая плазменная система по п.25, которая дополнительно содержит

пару циркуляторов, причем каждый из упомянутых циркуляторов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и выполнен с возможностью направления микроволн к соответствующему одному из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств.

38. Микроволновая плазменная система по п.25, которая дополнительно содержит

пару ответвителей, причем каждый из упомянутых ответвителей функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с измерителем мощности для измерения микроволновых потоков.

39. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой упомянутый источник микроволн включает в себя пару микроволновых силовых головок, причем каждая из упомянутых микроволновых силовых головок функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых вентилей.

40. Микроволновая плазменная система по п.25, в которой упомянутый источник микроволн включает в себя:

микроволновую силовую головку для генерирования микроволн и

разветвитель мощности для приема, разветвления и направления микроволн к упомянутым вентилям.

41. Микроволновая плазменная система, которая содержит:

источник микроволн;

вентиль, функционально соединенный с упомянутым источником микроволн;

микроволновый резонатор, имеющий вход;

волновод, функционально соединенный с упомянутым вентилем и с упомянутым входом упомянутого микроволнового резонатора;

невращающее фазосдвигающее устройство, функционально соединенное с упомянутым волноводом и с упомянутым вентилем;

циркулятор, функционально соединенный с упомянутым волноводом и выполненный с возможностью направления микроволн к упомянутому невращающему фазосдвигающему устройству;

подвижный короткозамыкатель, функционально соединенный с упомянутым микроволновым резонатором; и

решетку сопел, причем каждое из упомянутых сопел включает в себя:

газорасходную трубку, выполненную с возможностью направления через себя газового потока и имеющую входную часть и выходную часть; и

стержневой проводник, расположенный по направлению оси в упомянутой газорасходной трубке, причем упомянутый стержневой проводник имеет участок, расположенный в упомянутом микроволновом резонаторе для приема микроволн, и наконечник, прилегающий к упомянутой выходной части.

42. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

вихревое направляющее устройство, расположенное между упомянутым стержневым проводником и упомянутой газорасходной трубкой, причем упомянутое вихревое направляющее устройство имеет, по меньшей мере, один проход для придания спиралеобразного направления вокруг упомянутого стержневого проводника потоку газа, проходящему по упомянутому, по меньшей мере, одному проходу.

43. Микроволновая плазменная система по п.42, в которой упомянутый микроволновый резонатор включает в себя стенку, при этом упомянутая стенка упомянутого микроволнового резонатора образует участок прохода для газового потока, функционально соединенный с входной частью упомянутой газорасходной трубки.

44. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

экран, прилегающий к участку упомянутой газорасходной трубки, для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый экран сделан из проводящего материала.

45. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

заземленный экран, расположенный на внешней поверхности упомянутой газорасходной трубки для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый заземленный экран имеет отверстие для приема через него газового потока.

46. Микроволновая плазменная система по п.45, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

фиксатор, расположенный между упомянутым стержневым проводником и упомянутым заземленным экраном для надежного крепления упомянутого стержневого проводника к упомянутому заземленному экрану.

47. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой упомянутая газорасходная трубка сделана из кварца.

48. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя пару магнитов, прилегающих к упомянутой газорасходной трубке, при этом упомянутая пара магнитов имеет форму, приближенную к части цилиндра.

49. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

анод, прилегающий к части упомянутой газорасходной трубки; и

катод, прилегающий к другой части упомянутой газорасходной трубки.

50. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой упомянутый микроволновый резонатор выполнен с возможностью генерирования множества постоянных областей высоких энергий, используя микроволны, направленные в него, и в которой упомянутая часть упомянутого стержневого проводника располагается в пределах пространства, занятого упомянутыми постоянными областями высоких энергий.

51. Микроволновая плазменная система по п.41, в которой упомянутый вентиль включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный с упомянутым волноводом; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором.

52. Микроволновая плазменная система по п.41, которая дополнительно содержит

блок настройки, функционально соединенный с упомянутым волноводом и с упомянутым микроволновым резонатором.

53. Микроволновая плазменная система по п.41, которая дополнительно содержит:

ответвитель, функционально соединенный с упомянутым волноводом и с измерителем мощности для измерения микроволновых потоков.

54. Микроволновая плазменная система, которая содержит:

источник микроволн;

пару вентилей, функционально соединенных с упомянутым источником микроволн;

микроволновый резонатор, имеющий пару входов;

пару волноводов, причем каждый из упомянутых волноводов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых вентилей и с соответствующим одним из упомянутых входов упомянутого микроволнового резонатора; и

пару невращающих фазосдвигающих устройств, причем каждое из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с соответствующим одним из упомянутых вентилей;

пару подвижных короткозамыкателей, причем каждый из упомянутых подвижных короткозамыкателей функционально соединяется с упомянутым микроволновым резонатором; и

решетку сопел, причем каждое из упомянутых сопел включает в себя:

газорасходную трубку, выполненную с возможностью направления через себя газового потока и имеющую входную часть и выходную часть; и

стержневой проводник, расположенный по направлению оси в упомянутой газорасходной трубке, причем упомянутый стержневой проводник имеет участок, расположенный в упомянутом микроволновом резонаторе для приема микроволн, и наконечник, прилегающий к упомянутой выходной части.

55. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

вихревое направляющее устройство, расположенное между упомянутым стержневым проводником и упомянутой газорасходной трубкой, причем упомянутое вихревое направляющее устройство имеет, по меньшей мере, один проход для придания спиралеобразного направления вокруг упомянутого стержневого проводника потоку газа, проходящему по упомянутому, по меньшей мере, одному проходу.

56. Микроволновая плазменная система по п.55, в которой упомянутый микроволновый резонатор включает в себя стенку, при этом упомянутая стенка упомянутого микроволнового резонатора образует участок прохода для газового потока, функционально соединенный с входной частью упомянутой газорасходной трубки.

57. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

экран, прилегающий к участку упомянутой газорасходной трубки, для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый экран сделан из проводящего материала.

58. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

заземленный экран, расположенный на внешней поверхности упомянутой газорасходной трубки для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый заземленный экран имеет отверстие для приема через него газового потока.

59. Микроволновая плазменная система по п.58, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

фиксатор, расположенный между упомянутым стержневым проводником и упомянутым заземленным экраном для надежного крепления упомянутого стержневого проводника к упомянутому заземленному экрану.

60. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой упомянутая газорасходная трубка сделана из кварца.

61. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя пару магнитов, прилегающих к упомянутой газорасходной трубке, при этом упомянутая пара магнитов имеет форму, приближенную к части цилиндра.

62. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

анод, прилегающий к части упомянутой газорасходной трубки; и

катод, прилегающий к другой части упомянутой газорасходной трубки.

63. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой упомянутый микроволновый резонатор выполнен с возможностью генерирования множества постоянных областей высоких энергий, используя микроволны, направленные в него, и в котором упомянутая часть упомянутого стержневого проводника располагается в пределах пространства, занятого упомянутыми постоянными областями высоких энергий.

64. Микроволновая плазменная система по п.54, в которой каждый из упомянутых вентилей включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный, по меньшей мере, с одним из упомянутых волноводов; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором.

65. Микроволновая плазменная система по п.54, которая дополнительно содержит:

пару блоков настройки, причем каждый из упомянутых блоков настройки функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и упомянутым микроволновым резонатором.

66. Микроволновая плазменная система по п.54, которая дополнительно содержит

пару ответвителей, причем каждый из упомянутых ответвителей функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с измерителем мощности для измерения микроволновых потоков.

67. Микроволновая плазменная система по п.54, которая дополнительно содержит

пару циркуляторов, причем каждый из упомянутых циркуляторов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и выполнен с возможностью направления микроволн к соответствующему одному из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств.

68. Микроволновая плазменная система, которая содержит:

источник микроволн;

микроволновый резонатор, имеющий четыре входа;

четыре волновода, причем каждый из упомянутых волноводов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых входов упомянутого микроволнового резонатора и с упомянутым источником микроволн;

четыре невращающих фазосдвигающих устройства, причем каждое из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с упомянутым источником микроволн;

четыре циркулятора, причем каждый из упомянутых циркуляторов функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и выполнен с возможностью направления микроволн, генерируемых упомянутым источником микроволн, по меньшей мере, к одному из упомянутых невращающих фазосдвигающих устройств; и

решетку сопел, причем каждое из упомянутых сопел включает в себя:

газорасходную трубку, выполненную с возможностью направления через себя газового потока и имеющую входную часть и выходную часть; и

стержневой проводник, расположенный по направлению оси в упомянутой газорасходной трубке, причем упомянутый стержневой проводник имеет участок, расположенный в упомянутом микроволновом резонаторе для приема микроволн, и наконечник, прилегающий к упомянутой выходной части.

69. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

вихревое направляющее устройство, расположенное между упомянутым стержневым проводником и упомянутой газорасходной трубкой, причем упомянутое вихревое направляющее устройство имеет, по меньшей мере, один проход для придания спиралеобразного направления вокруг упомянутого стержневого проводника потоку газа, проходящему по упомянутому, по меньшей мере, одному проходу.

70. Микроволновая плазменная система по п.69, в которой упомянутый микроволновый резонатор включает в себя стенку, при этом упомянутая стенка упомянутого микроволнового резонатора образует участок прохода для газового потока, функционально соединенный с входной частью упомянутой газорасходной трубки.

71. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

экран, прилегающий к участку упомянутой газорасходной трубки, для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый экран сделан из проводящего материала.

72. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

заземленный экран, расположенный на внешней поверхности упомянутой газорасходной трубки для снижения потерь энергии микроволн при прохождении через газорасходную трубку, при этом упомянутый заземленный экран имеет отверстие для приема через него газового потока.

73. Микроволновая плазменная система по п.72, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя

фиксатор, расположенный между упомянутым стержневым проводником и упомянутым заземленным экраном для надежного крепления упомянутого стержневого проводника к упомянутому заземленному экрану.

74. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой упомянутая газорасходная трубка сделана из кварца.

75. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя пару магнитов, прилегающих к упомянутой газорасходной трубке, при этом упомянутая пара магнитов имеет форму, приближенную к части цилиндра.

76. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой каждое из упомянутых сопел дополнительно включает в себя:

анод, прилегающий к части упомянутой газорасходной трубки; и

катод, прилегающий к другой части упомянутой газорасходной трубки.

77. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой упомянутый микроволновый резонатор выполнен с возможностью генерирования множества постоянных областей высоких энергий, используя микроволны, направленные в него, и в котором упомянутая часть упомянутого стержневого проводника располагается в пределах пространства, занятого упомянутыми постоянными областями высоких энергий.

78. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой упомянутый источник микроволн включает в себя

четыре микроволновые силовые головки и

четыре вентиля, причем каждый из упомянутых вентилей функционально соединяется с соответствующей одной из упомянутых микроволновых силовых головок и, по меньшей мере, с одним из упомянутых волноводов, при этом каждый из упомянутых вентилей включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный с упомянутым волноводом; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором.

79. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой упомянутый источник микроволн включает в себя:

две микроволновые силовые головки;

два вентиля, причем каждый из упомянутых вентилей соединяется с соответствующей одной из упомянутых микроволновых силовых головок, при этом каждый из упомянутых вентилей включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный с упомянутым волноводом; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором; и

два разветвителя мощности, причем каждый из упомянутых разветвителей мощности функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых вентилей, при этом каждый из упомянутых разветвителей мощности выполнен с возможностью приема, разветвления и направления микроволн в соответствующие два из упомянутых волновода.

80. Микроволновая плазменная система по п.68, в которой упомянутый источник микроволн включает в себя:

микроволновую силовую головку;

вентиль, функционально соединенный с упомянутой микроволновой силовой головкой, причем упомянутый вентиль включает в себя:

циркулятор, функционально соединенный с упомянутым волноводом; и

искусственную нагрузку, функционально соединенную с упомянутым циркулятором; и

разветвитель мощности, соединенный с упомянутым вентилем, причем упомянутый разветвитель мощности выполнен с возможностью приема, разветвления и направления микроволн в соответствующий один из упомянутых волноводов.

81. Микроволновая плазменная система по п.68, которая дополнительно содержит:

четыре блока настройки, причем каждый из упомянутых блоков настройки функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с упомянутым микроволновым резонатором.

82. Микроволновая плазменная система по п.68, которая дополнительно содержит

четыре ответвителя, причем каждый из упомянутых ответвителей функционально соединяется с соответствующим одним из упомянутых волноводов и с измерителем мощности для измерения микроволновых потоков.