Золотая распыляемая мишень - RU2018146163A
Код документа: RU2018146163A
Формула
1. Золотая распыляемая мишень, которая выполнена из золота и неизбежных примесей, содержащая подлежащую распылению поверхность, при этом
среднее значение твердости по Виккерсу составляет 40 или более и 60 или менее,
средний размер кристаллического зерна составляет 15 мкм или более и 200 мкм или менее, и
плоскость {110} золота преимущественно ориентирована по поверхности.
2. Золотая распыляемая мишень по п. 1, причем, при подвергании поверхности рентгеновской дифракции и определении показателя N ориентации каждой кристаллографической плоскости с помощью приведенной ниже формулы (1):
где I/I(hkl) является отношением интенсивности дифракции плоскости (hkl) при рентгеновской дифракции, JCPDS⋅I/I(hkl) является отношением интенсивности дифракции плоскости (hkl) на карте JCPDS, ∑(I/I(hkl)) является суммой отношений интенсивности дифракции всех кристаллографических плоскостей при рентгеновской дифракции, и ∑(JCPDS⋅I/I(hkl)) является суммой отношений интенсивности дифракции всех кристаллографических плоскостей на карте JCPDS,
с использованием отношения интенсивности дифракции каждой кристаллографической плоскости золота, показатель N ориентации плоскости {110} золота составляет более 1 и является наибольшим среди показателей N ориентации всех кристаллографических плоскостей.
3. Золотая распыляемая мишень по п. 1 или 2, причем отклонение твердости по Виккерсу распыляемой мишени в целом находится в пределах ±20%.
4. Золотая распыляемая мишень по любому из пп. 1-3, причем отклонение среднего размера кристаллического зерна распыляемой мишени в целом находится в пределах ±20%.
5. Золотая распыляемая мишень по любому из пп. 1-4, причем чистота золота распыляемой мишени составляет 99,99% или более.
6. Золотая распыляемая мишень по любому из пп. 1-5, причем золотая распыляемая мишень имеет пластинчатую форму.
7. Золотая распыляемая мишень по любому из пп. 1-5, причем золотая распыляемая мишень имеет цилиндрическую форму.
8. Способ изготовления золотой распыляемой мишени, включающий:
стадию изготовления золотой распыляемой мишени, которая выполнена из золота и неизбежных примесей и у которой среднее значение твердости по Виккерсу составляет 40 или более и 60 или менее, средний размер кристаллического зерна составляет 15 мкм или более и 200 мкм или менее, и плоскость {110} золота преимущественно ориентирована по подлежащей распылению поверхности.
9. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по п. 8, в котором, при подвергании поверхности рентгеновской дифракции и определении показателя N ориентации каждой кристаллографической плоскости с помощью приведенной ниже формулы (1):
где I/I(hkl) является отношением интенсивности дифракции плоскости (hkl) при рентгеновской дифракции, JCPDS⋅I/I(hkl) является отношением интенсивности дифракции плоскости (hkl) на карте JCPDS, ∑(I/I(hkl)) является суммой отношений интенсивности дифракции всех кристаллографических плоскостей при рентгеновской дифракции, и ∑(JCPDS⋅I/I(hkl)) является суммой отношений интенсивности дифракции всех кристаллографических плоскостей на карте JCPDS,
с использованием отношения интенсивности дифракции каждой кристаллографической плоскости золота, показатель N ориентации плоскости {110} золота составляет более 1 и является наибольшим среди показателей N ориентации всех кристаллографических плоскостей.
10. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по п. 8 или 9, в котором отклонение твердости по Виккерсу распыляемой мишени в целом находится в пределах ±20%.
11. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по любому из пп. 8-10, в котором отклонение среднего размера кристаллического зерна распыляемой мишени в целом находится в пределах ±20%.
12. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по любому из пп. 8-11, в котором чистота золота распыляемой мишени составляет 99,99% или более.
13. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по любому из пп. 8-12, дополнительно включающий:
стадию приготовления золотого слитка, имеющего чистоту золота 99,99% или более;
первую стадию обработки с обработкой золотого слитка в пластинчатую золотую заготовку;
вторую стадию обработки с получением материала пластинчатой мишени посредством подвергания золотой заготовки горячей ковке или горячей прокатке при температуре 200°С или более и 800°С или менее со степенью обжатия 50% или более и 90% или менее; и
стадию термообработки подверганием материала мишени термообработке с выдержкой при температуре 200°С или более и 500°С или менее в диапазоне 10 минут или более и 120 минут или менее.
14. Способ изготовления золотой распыляемой мишени по любому из пп. 8-12, дополнительно включающий:
стадию приготовления золотого слитка, имеющего чистоту золота 99,99% или более;
первую стадию обработки с обработкой золотого слитка в цилиндрическую золотую заготовку;
вторую стадию обработки с получением материала цилиндрической мишени посредством подвергания золотой заготовки процессу холодного прессования с коэффициентом вытяжки 1,5 или более и 3,0 или менее, процессу холодной вытяжки со степенью обжатия 2% или более и 5% или менее за один раз, или горячей ковке при температуре 200°С или более и 800°С или менее со степенью обжатия 30% или более и 80% или менее; и
стадию термообработки подверганием материала мишени термообработке с выдержкой при температуре 200°С или более и 500°С или менее в диапазоне 10 минут или более и 120 минут или менее.
