Генерирование плазмы с коаксиальным резонатором, использующим два сигнала - RU2016143542A
Код документа: RU2016143542A
Формула
1. Генератор плазмы, содержащий:
источник радиочастотной мощности; и
узел коаксиального резонатора, включающий в себя центральный проводник, который ориентирован таким образом, что он имеет связь с источником радиочастотной мощности, и выполнен с возможностью поддерживать нулевое напряжение в первом месте.
2. Генератор плазмы по п. 1, дополнительно содержащий источник мощности постоянного тока.
3. Генератор плазмы по п. 2, в котором источник мощности постоянного тока соединен с центральным проводником проксимально к первому месту.
4. Генератор плазмы по п. 2, дополнительно содержащий радиочастотный компонент управления, присоединенный между источником мощности постоянного тока и узлом коаксиального резонатора и выполненный с возможностью препятствовать прохождению подачи напряжения радиочастотной мощности к источнику мощности постоянного тока.
5. Генератор плазмы по п. 4, в котором радиочастотный компонент управления представляет собой дополнительный узел резонатора, выполненный с возможностью осуществлять сдвиг по фазе подачи напряжения радиочастотной мощности на 180 градусов относительно плоскости заземления узла коаксиального резонатора.
6. Генератор плазмы по п. 3, в котором узел коаксиального резонатора содержит множество четвертьволновых коаксиальных резонаторов, связанных в последовательную конфигурацию, причем резонаторы включают в себя центральные проводники, связанные с источником радиочастотной мощности.
7. Генератор плазмы по п. 2, дополнительно содержащий контроллер источника мощности, выполненный с возможностью управлять источником радиочастотной мощности, чтобы обеспечивать подачу напряжения радиочастотной мощности с первым соотношением мощности к напряжению, и выполненный с возможностью управлять источником мощности постоянного тока, чтобы обеспечивать подачу напряжения мощности постоянного тока со вторым соотношением мощности к напряжению, при этом первое соотношение больше, чем второе соотношение.
8. Генератор плазмы по п. 1, дополнительно содержащий:
четвертьволновой коаксиальный резонатор с разомкнутым концом для разряда, включающий в себя центральный проводник, имеющий проксимальный конец, связанный с первым местом; и
источник мощности постоянного тока, присоединенный проксимально к первому месту.
9. Генератор плазмы по п. 1, в котором источник радиочастотной мощности выполнен с возможностью обеспечивать подачу напряжения радиочастотной мощности, имеющую первое соотношение мощности к напряжению, и источник радиочастотной мощности выполнен с возможностью обеспечивать подачу напряжения мощности постоянного тока, имеющую второе соотношение мощности к напряжению.
10. Генератор плазмы по п. 9, в котором источник радиочастотной мощности выполнен с возможностью обеспечивать подачу по существу постоянного напряжения мощности постоянного тока для узла коаксиального резонатора проксимально к первому месту.
11. Генератор плазмы по п. 9, в котором источник мощности постоянного тока выполнен с возможностью работать в режиме, который обеспечивает подачу напряжения мощности постоянного тока в виде подачи по существу постоянного напряжения мощности постоянного тока.
12. Генератор плазмы по п. 9, дополнительно содержащий радиочастотный компонент управления, присоединенный между источником мощности постоянного тока и узлом коаксиального резонатора и выполненный с возможностью препятствовать прохождению подачи напряжения радиочастотной мощности к источнику мощности постоянного тока.
13. Устройство генерирования плазмы по п. 12, в котором радиочастотный компонент управления представляет собой дополнительный узел резонатора, выполненный с возможностью осуществлять сдвиг по фазе подачи напряжения радиочастотной мощности на 180 градусов относительно плоскости заземления узла коаксиального резонатора.
14. Способ генерирования плазмы в узле коаксиального резонатора путем обеспечения объединенной величины напряжения от радиочастотной мощности и мощности постоянного тока, включающий в себя:
обеспечение первой части напряжения для узла коаксиального резонатора от радиочастотной мощности, которая сама по себе недостаточна для инициирования плазмы на дистальном конце узла коаксиального резонатора, при этом обеспечение первой части напряжения определяет первое соотношение мощности к напряжению;
обеспечение второй части напряжения для узла коаксиального резонатора от мощности постоянного тока, которая сама по себе недостаточна для инициирования плазмы на дистальном конце узла коаксиального резонатора, при этом обеспечение второй части напряжения определяет второе соотношение мощности к напряжению; и
генерирование плазмы на дистальном конце узла коаксиального резонатора путем обеспечения объединенной величины напряжения из первой части напряжения и второй части напряжения, при этом второе соотношение меньше, чем первое соотношение.
