Установка плазменного осаждения и способ изготовления солнечных элементов - RU2008144954A

Реферат

1. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов, содержащая ! средства для поддержания подложки; ! средства для поставки реагентов; и ! средства плазменной горелки для осаждения продукта на упомянутой подложке, упомянутые средства плазменной горелки размещены на расстоянии от упомянутой подложки. ! 2. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутыми осажденными солнечными элементами являются кремниевые тонкопленочные солнечные элементы. ! 3. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутыми осажденными солнечными элементами являются медь-индий-галлий-диселенидовые CIGS - (Copper Indium Gallium diselenide) тонкопленочные солнечные элементы. ! 4. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутые реагенты могут быть в форме, выбранной из группы, состоящей из газа, пара, аэрозоля, маленьких частиц и порошка. ! 5. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутым плазмоформирующим газом является газ аргон. ! 6. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутый продукт производят с помощью газа, выбранного из силана, водорода, метана, диборана, триметилборана, фосфина и их смесей. ! 7. Установка плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов по п.1, в которой упомянутый продукт производят из реагентов, содержащих химические продукты, выбранные из группы, состоящей из меди, индия, галлия, селена и их смесей. ! 8. Установка плазменного осаждения для изготовлени�