Нанесение легированных пленок zno на полимерные подложки химическим осаждением из газовой фазы под воздействием уф - RU2012119803A

Реферат

1. Способ образования слоя на полимерной подложке, включающий:(a) контактирование полимерной подложки по меньшей мере с одним прекурсором; и(b) действие ультрафиолетового света для разложения по меньшей мере одного прекурсора и нанесения слоя на полимерную подложку.2. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор содержит легирующую добавку.3. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.2, где легирующая добавка представляет собой по меньшей мере один металл, выбранный из группы, состоящий из Al, Ga, In, Tl и B.4. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор содержит цинк.5. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.4, где слой представляет собой легированный слой оксида цинка.6. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где слой представляет собой прозрачный электропроводящий оксидный слой.7. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.6, где прозрачный электропроводящий оксидный слой имеет удельное сопротивление менее чем приблизительно 1×10Ωсм.8. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где этап (b) происходит при менее чем около 200°C.9. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где этап (b) происходит при около 160-200°C.10. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор вводят в газовой фазе на этапе (a).11. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где указанное контактирование проводят при приблизительно атмосферном давлении.12. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где полимерную подложку выбирают из группы, состоя