Позиционирующее устройство, управляющее устройство и способ управления - RU2015109146A

Код документа: RU2015109146A

Реферат

1. Позиционирующее устройство (2), содержащее:- опорную структуру (10), содержащую один или более опорных элементов (11, 12, 13),- платформу (20) с длинным ходом, которая поддерживается и является подвижной в направлении (M) перемещения относительно опорного элемента (11), причем платформа с длинным ходом содержит несущий элемент (21) платформы с длинным ходом, который поддерживается посредством опорного элемента (11) с длинным ходом,- платформу (50) с коротким ходом, которая является подвижной в направлении (M) перемещения относительно платформы (20) с длинным ходом, причем платформа (50) с коротким ходом содержит несущий элемент (51) платформы с коротким ходом, который поддерживается посредством опорного элемента (12, 13) с коротким ходом, при этом платформа (20) с длинным ходом или платформа (50) с коротким ходом имеет два актуатора (30, 40), размещенных напротив друг друга на фиксированном расстоянии с зазором между ними, причем каждый актуатор (30, 40) содержит ферромагнитное ярмо (31, 41) и магнит (32, 33, 42, 43), размещенный на пути магнитного потока ярма (31, 41), и при этом другая из платформы (20) с длинным ходом или платформы (50) с коротким ходом содержит ферромагнитный центральный элемент (52), который размещен между актуаторами (30, 40),- блок (60) управления для инициирования перемещения платформы (20) с длинным ходом и платформы (50) с коротким ходом в требуемом направлении (M1) перемещения посредством сначала перемещения платформы (20) с длинным ходом в противоположном направлении (M2), которое является противоположным требуемому направлению (M1) перемещения, и/или перемещения платформы (50) с коротким ходом в требуемом направлении (M1) перемещения в течение предварительно определенного интервала времени и на расстояние, меньшее, чем расстояние (d) между

Авторы

Заявители

СПК: G03F7/70716 G03F7/70725 G03F7/70758 G03F7/70791

Публикация: 2016-11-27

Дата подачи заявки: 2013-09-27

0
0
0
0
Невозможно загрузить содержимое всплывающей подсказки.
Поиск по товарам