Система и способ нанесения полупроводникового покрытия на лист стекла и получаемый продукт - RU2009131761A

Реферат

1. Система для нанесения полупроводникового покрытия на лист стекла, включающая: ! удлиненный корпус, ограничивающий вакуумную камеру; ! блок входного загрузочного шлюза для загрузки в вакуумную камеру и блок выходного загрузочного шлюза для выгрузки из вакуумной камеры; ! корпус, блок нагревания для нагревания листов стекла и по меньшей мере один блок осаждения для подачи полупроводникового материала для осаждения; ! транспортер для удерживания верхнего края вертикально расположенных листов стекла и транспортировки вертикально расположенных листов стекла через систему, сначала внутрь и через блок входного загрузочного шлюза в вакуумную камеру, затем через блок нагревания для нагревания листов стекла, затем через блок осаждения для осаждения полупроводникового материала на листы стекла, и наконец из вакуумной камеры через блок выходного загрузочного шлюза для выгрузки листов стекла с покрытием. ! 2. Система для нанесения полупроводникового покрытия на лист стекла по п.1, в которой транспортер включает челноки для удерживания верхнего края вертикально расположенных листов стекла, и транспортер также включает привод, снабженный приводными механизмами, расположенными по всей длине системы для перемещения челноков и подвешенных на них листов стекла через систему, сначала внутрь и через блок входного загрузочного шлюза в вакуумную камеру, затем через блок нагревания для нагревания листов стекла, затем через блок осаждения для осаждения полупроводникового материала на листы стекла, и наконец из вакуумной камеры через блок выходного загрузочного шлюза для выгрузки листов стекла с нанесенным покрытием.