Пропускающий ультрафиолетовое излучение полимер ипелликула, содержащая указанный полимер - RU2005107716A

Реферат

1. Пелликула, подвергающаяся воздействию излучения, имеющего длину волны самое большее 200 нм, которая содержит раму и пелликулярную мембрану, связанную с рамой посредством адгезива, отличающаяся тем, что пелликулярная мембрана и/или адгезив содержит полимер, содержащий повторяющиеся звенья, представленные следующей формулой (1)

где Q означает группу C_1-3 полифторалкилена, имеющую линейную структуру, или группу, имеющую по меньшей мере один атом, выбранный из атомов водорода и атомов фтора в такой группе полифторалкилена, замещенный одновалентным заместителем, содержащим полифторалкилгруппу, которая может содержать эфирный атом кислорода, при условии, что, когда присутствуют два или более таких одновалентных заместителей, два таких одновалентных заместителя вместе могут образовывать двухвалентный заместитель, содержащий группу полифторалкилена, которая может содержать эфирный атом кислорода, и Х означает атом водорода, атом фтора или C_1-3 полифторалкилгруппу, которая может содержать эфирный атом кислорода.

2. Пелликула по п.1, где Q означает группу C_1-3 перфторалкилена, имеющую линейную структуру, или группу, имеющую по меньшей мере один атом фтора в такой группе перфторалкилена, замещенный одновалентным заместителем, содержащим перфторалкилгруппу, которая может содержать эфирный атом кислорода, и Х означает атом водорода, атом фтора или C_1-3 полифторалкилгруппу, которая может содержать эфирный атом кислорода.

3. Пелликула по п.1, где повторяющиеся звенья, представленные формулой (1), являются повторяющимися звеньями, представленными следующей формулой (2)

4. Пелликула по пп.1, 2 или 3, где пелликулярная мембрана содержит полимер, имеющий повторяющиеся звенья, представленные формулой (1), в качестве основного компонента и не имеющий функциональной группы.

5. Пелликула по п.1, где адгезив содержит полимер, имеющий повторяющиеся звенья, представленные формулой (1), в качестве основного компонента и имеющий функциональные группы.

6. Пелликула по п.1, где полимер, содержащий повторяющиеся звенья, представленные формулой (1), является полимером, не имеющим структуры -CH₂CH₂-.

7. Способ экспонирования с использованием излучения, имеющего длину волны самое большее 200 нм, в фотолитографии, отличающийся тем, что используют пелликулу по п.1.

8. 2,2,3,3,4,5-гексафтор-2, 3-дигидрофуран.

9. Полимер, имеющий полимерные звенья, представленные следующей формулой (2), в качестве существенного компонента

10. Полимер, содержащий полимерные звенья, представленные следующей формулой (2), и имеющий молекулярную массу от 500 до 1000000, или полимер, содержащий полимерные звенья, представленные формулой (2), и один или несколько типов полимерных звеньев других полимеризуемых мономеров, и имеющий молекулярную массу от 500 до 1000000, отличающийся тем, что, когда содержатся полимерные звенья других полимеризуемых мономеров, доля полимерных звеньев, представленных формулой (2), в полимере равна по меньшей мере 0,01 мас.% и менее, чем 100 мас.%

11. Способ получения полимера, имеющего полимерные звенья, представленные следующей формулой (2), в качестве существенного компонента, включающий гомополимеризацию 2,2,3,3,4,5-гексафтор-2,3-дигидрофурана или сополимеризацию 2,2,3,3,4,5-гексафтор-2, 3-дигидрофурана с одним или несколькими типами других полимеризуемых мономеров