Способ и устройство для удаления с несущей подложки обратимо монтируемой полупроводниковой пластины со сформированными приборами - RU2010129938A

Реферат

1. Кольцевой фиксатор для разделения соединенных подложек, где упомянутый кольцевой фиксатор имеет плоский корпус, главным образом, круглой формы и центральное отверстие, при этом упомянутый корпус содержит: ! круговую внутреннюю боковую стенку; ! круговую наружную боковую стенку; ! верхнюю поверхность, проходящую между внутренней боковой стенкой и наружной боковой стенкой; ! соприкасающуюся с пластиной поверхность, проходящую наружу от внутренней боковой стенки, причем упомянутая соприкасающаяся с пластиной поверхность заканчивается в месте корпуса, которое находится на расстоянии от наружной боковой стенки; и ! проходящий внутрь круговой выступ, который имеет наклон внутрь от упомянутого места и на удалении от соприкасающейся с пластиной поверхности, ! при этом упомянутая соприкасающаяся с пластиной поверхность и кольцевой выступ совместно образуют принимающую подложку выемку. ! 2. Кольцевой фиксатор по п.1, в котором упомянутый корпус является кольцевым фиксатором с одной прорезью, имеющим два свободных конца. ! 3. Кольцевой фиксатор по п.1, упомянутый круговой выступ, заканчивается на свободном конце и имеет скошенную упорную поверхность, проходящую между свободным краем и местом, где соприкасающаяся с пластиной поверхность заканчивается в корпусе. !4. Кольцевой фиксатор по п.3, в котором упомянутая выемка имеет угол (θ), измеренный от соприкасающейся с пластиной поверхности до упорной поверхности ориентирующего выступа и составляющий от приблизительно 10° до приблизительно 90°. ! 5. Кольцевой фиксатор по п.3, в котором свободный конец кольцевого выступа не проходит внутрь за плоскость, определенную вну