Cистема ионной пушки, устройство парофазного осаждения и способ изготовления линзы - RU2008143236A

Реферат

1. Система ионной пушки, содержащая: ! ионную пушку для испускания пучка ионов; ! блок электропитания для подачи электроэнергии на ионную пушку; ! множество регуляторов массового расхода для введения каждого из множества типов газа в упомянутую ионную пушку; ! средство управления ионной пушкой, соединенное с упомянутым блоком электропитания, для управления электроэнергией, подаваемой на упомянутую ионную пушку из блока электропитания; и ! средство управления массовым расходом, соединенное с упомянутыми регуляторами массового расхода, для управления расходом газа, вводимого в упомянутую ионную пушку из регуляторов массового расхода, причем ! упомянутое средство управления массовым расходом снабжено функцией изменения заданного значения для расхода каждого из множества типов газа на другое заданное значение посредством его пошагового изменения в пределах того диапазона, где упомянутая ионная пушка работает устойчиво. ! 2. Система ионной пушки по п.1, в которой упомянутое средство управления массовым расходом снабжено функцией изменения заданного значения для расхода каждого из множества типов газа на другое заданное значение посредством его пошагового изменения при синхронизации заданных значений в пределах того диапазона, где упомянутая ионная пушка работает устойчиво. ! 3. Система ионной пушки по п.1, в которой упомянутое средство управления массовым расходом снабжено функцией изменения заданного значения для расхода каждого из множества типов газа на другое заданное значение посредством его пошагового изменения в пределах того диапазона, где упомянутая ионная пушка работает устойчиво, при подд�