Рч мэмс-переключатель с гибкой и свободной мембраной переключателя - RU2007134310A

Реферат

1. РЧ МЭМС-переключатель, содержащий микромеханическое переключающее устройство, выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение, отличающийся тем, что микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба. ! 2. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние). ! 3. РЧ МЭМС-переключатель по п.2, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя. ! 4. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором мембрана (6) представляет собой емкостной переключающий элемент. ! 5. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3). ! 6. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободн