Схема с регулируемой емкостью - RU2005129847A

Реферат

1. Устройство, имеющее регулируемую величину емкости, причем устройство содержит по меньшей мере, два электрода, по меньшей мере, один из которых является управляемо перемещаемым относительно другого для обеспечения регулируемости зазора, определенного между, по меньшей мере, двумя электродами, причем, по меньшей мере, один из электродов несет РЧ сигнал; и множество опор, расположенных между, по меньшей мере, двумя электродами, причем множество опор выполнено с возможностью растяжения, по меньшей мере, одного из электродов.

2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее схему, выполненную с возможностью выборочного приложения смещения по постоянному току между двумя электродами, причем, по меньшей мере, один из которых представляет собой перемещаемый электрод, таким образом, что указанная схема регулирует размер зазора между двумя электродами.

3. Устройство по п.1, дополнительно содержащее процессор, электрически соединенный с указанными, по меньшей мере, двумя электродами, причем указанный процессор выполнен с возможностью обработки данных; и устройство памяти, электрически соединенное с указанным процессором.

4. Устройство по п.3, дополнительно содержащее схему возбуждения, выполненную с возможностью передачи, по меньшей мере, одного сигнала на указанные, по меньшей мере, два электрода.

5. Устройство по п.4, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, части указанных данных в указанную схему возбуждения.

6. Устройство по п.3, дополнительно содержащее модуль источника данных, выполненный с возможностью передачи указанных данных в указанный процессор.

7. Устройство по п.6, в котором указанный модуль источника данных содержит, по меньшей мере, один из приемника, приемопередатчика и передатчика.

8. Устройство по п.3, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и передачи указанных входных данных указанному процессору.

9. Конденсатор, имеющий регулируемую величину емкости, причем конденсатор содержит средство для переноса РЧ сигнала, причем средство переноса имеет управляемо регулируемый зазор; и средство для растяжения, по меньшей мере, части средства переноса.

10. Конденсатор по п.9, в котором средство переноса содержит, по меньшей мере, два электрода, по меньшей мере, один из которых является перемещаемым относительно другого.

11. Конденсатор по п.9, в котором средство для растяжения содержит одну или несколько опор, расположенных смежно с перемещаемой частью средства переноса.

12. Конденсатор по п.9, в котором средство переноса содержит деформируемую мембрану.

13. Конденсатор по п.12, в котором средство переноса дополнительно содержит схему, выполненную с возможностью выборочного приложения смещения по постоянному току.

14. Конденсатор по п.13, в котором средство переноса содержит множество зазоров между проводящей линией, выполненной с возможностью переноса РЧ сигнала, и проводящей мембраной.

15. Конденсатор по п.13, в котором средство переноса дополнительно содержит средство для выбора смещения по постоянному току; и средство для приложения смещения по постоянному току к, по меньшей мере, двум электродам.

16. Конденсатор по п.15, в котором средство выбора содержит процессор или логическую схему.

17. Конденсатор по п.16, в котором средство для приложения содержит коммутатор.

18. Способ выбора емкости, причем способ содержит регулировку зазора между, по меньшей мере, двумя электродами, причем, по меньшей мере, один из электродов переносит РЧ сигнал; и растяжение, по меньшей мере, одного из электродов.

19. Способ по п.18, в котором регулировка зазора дополнительно содержит выбор смещения по постоянному току; и приложение смещения по постоянному току к, по меньшей мере, двум электродам.

20. Способ по п.18, в котором регулировка зазора содержит регулировку множества зазоров между проводящей линией, выполненной с возможностью переноса РЧ сигнала, и множеством электродов.

21. Способ изготовления конденсатора, имеющего регулируемую емкость, причем способ содержит формирование первого электрода; формирование второго электрода таким образом, что он является перемещаемым относительно первого электрода для обеспечения регулируемости зазора, образованного между первым электродом и вторым электродом; и формирование множества опор, выполненных с возможностью растяжения, по меньшей мере, второго электрода, причем опоры расположены между электродами.

22. Способ по п.21, дополнительно содержащий формирование первого электрода из непрозрачного материала.

23. Конденсатор, изготовленный согласно способу по п.21.

24. РЧ устройство, причем РЧ устройство содержит первый проводник для переноса РЧ сигнала; и деформируемую мембрану, отделенную от первого проводника, причем деформируемая мембрана выполнена с возможностью выборочной фильтрации РЧ сигнала, при этом деформируемая мембрана имеет, по меньшей мере, три дискретных активируемых положения для выборочной фильтрации РЧ сигнала.

25. РЧ устройство по п.24, в котором деформируемая мембрана содержит цельную мембрану.

26. РЧ устройство по п.24, в котором деформируемая мембрана содержит две или более отдельных мембран.

27. РЧ устройство по п.24, дополнительно содержащее конденсатор, имеющий регулируемую емкость, содержащий сборку подложки; сигнальный проводник на сборке подложки, причем сигнальный проводник формирует первый электрод конденсатора; слой диэлектрического материала, покрывающего, по меньшей мере, верхнюю поверхность сигнального проводника; и одну или несколько механических проводящих мембран, отделенных от сборки подложки таким образом, что сигнальный проводник расположен между сборкой подложки и одной или несколькими механическими проводящими мембранами, причем одна или несколько механических проводящих мембран формируют второй электрод конденсатора, при этом, по меньшей мере, два или более положений одной или нескольких механических проводящих мембран, являются, по меньшей мере, частично независимо перемещаемыми из положения малой емкости и положения большой емкости, причем такие достижимые положения включают в себя дискретное положение первой емкости для, по меньшей мере, выбранных двух частей механической проводящей мембраны, дискретное положение второй емкости для указанных выбранных двух частей механической проводящей мембраны, причем дискретное положение второй емкости имеет большую емкость, чем дискретное положение первой емкости, и дискретную конфигурацию третьей емкости, имеющую большую емкость, чем дискретное положение первой емкости, но меньшую, чем дискретное положение второй емкости, при этом в дискретной конфигурации третьей емкости, одна из указанных выбранных двух частей находится в дискретном положении второй емкости, а другая находится в дискретном положении первой емкости, причем выбранное положение является, по меньшей мере, частично определенным напряжением на сигнальном проводнике.

28. РЧ устройство по п.27, в котором, по меньшей мере две или более частей соответствуют одному сегменту непрерывной механической проводящей мембраны, и причем две или более частей отличаются, по меньшей мере, одним из следующего (а) наличием или отсутствием опор, расположенных между сборкой подложки и сегментом механической проводящей мембраны, (b) различием в высоте опор, (с) различием в расстоянии между опорами, или (d) их комбинацией.

29. РЧ устройство по п.27, в котором, по меньшей мере две или более частей одной или нескольких механических проводящих мембран соответствуют отдельным сегментам механической проводящей мембраны, формирующей общий электрод, соединенный с сигнальным заземлением, в котором отдельные сегменты являются изолированными по постоянному току от других и подсоединены к отдельным смещениям для независимого управления отдельными сегментами.

30. РЧ устройство по п.27, в котором множество сигнальных проводников и множество многочисленных сегментов механических проводящих мембран размещены в виде строк и столбцов.

31. РЧ устройство по п.24, дополнительно содержащее процессор, электрически соединенный, по меньшей мере, с одним из указанного первого проводника и указанной деформируемой мембраны, причем указанный процессор выполнен с возможностью обработки данных; и устройство памяти, электрически соединенное с указанным процессором.

32. РЧ устройство по п.31, дополнительно содержащее схему возбуждения, выполненную с возможностью передачи, по меньшей мере, одного сигнала в, по меньшей мере, либо в указанный первый проводник либо в указанную деформируемую мембрану.

33. РЧ устройство по п.32, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, части указанных данных в указанную схему возбуждения.

34. РЧ устройство по п.31, дополнительно содержащее модуль источника данных, выполненный с возможностью передачи указанных данных в указанный процессор.

35. РЧ устройство по п.34, в котором указанный модуль источника данных содержит, по меньшей мере, один из приемника, приемопередатчика и передатчика.

36. РЧ устройство по п.31, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и передачи указанных входных данных указанному процессору.

37. РЧ устройство, содержащее средство для переноса РЧ сигнала; и средство для фильтрации РЧ сигнала, причем средство для фильтрации РЧ сигнала является деформируемым в, по меньшей мере, одно из трех дискретных активируемых положений для выборочной фильтрации РЧ сигнала.

38. РЧ устройство по п.37, в котором средство переноса содержит проводящую линию.

39. РЧ устройство по п.38, в котором средство фильтрации содержит два или более, по меньшей мере, частично независимо активируемых частей одной или нескольких деформируемых мембран.

40. РЧ средство по п.39, в котором средство фильтрации выполнено таким образом, что, по меньшей мере, две активируемые части являются независимо активируемыми.

41. Способ фильтрации РЧ сигнала, причем способ содержит перенос РЧ сигнала в проводящей линии; и выборочную фильтрацию РЧ сигнала с использованием деформируемой мембраны, имеющей, по меньшей мере, три дискретных активируемых положения для выборочной фильтрации РЧ сигнала, причем деформируемая мембрана расположена смежно с проводящей линией.

42. Способ по п.41, в котором выборочная фильтрация содержит активацию двух или более, по меньшей мере, частично независимо активируемых частей одной или нескольких деформируемых мембран.

43. Способ изготовления РЧ устройства, имеющего регулируемую емкость, причем способ содержит формирование первого проводника для переноса РЧ сигнала; и формирование деформируемой мембраны, отделенной от первого проводника, причем деформируемая мембрана выполнена с возможностью выборочной фильтрации РЧ сигнала, при этом деформируемая мембрана имеет, по меньшей мере, три дискретных активируемых положения для выборочной фильтрации РЧ сигнала.

44. Способ по п.43, дополнительно содержащий формирование сборки подложки; формирование первого проводника на сборке подложки; формирование слоя диэлектрического материала, покрывающего, по меньшей мере, верхнюю поверхность первого проводника; и формирование деформируемой мембраны, расположенной на некотором расстоянии над сборкой подложки таким образом, что первый проводник расположен между сборкой подложки и деформируемой мембраной.

45. Способ по п.44, в котором деформируемая мембрана соответствует одному непрерывному сегменту механической проводящей мембраны.

46. Способ по п.44, дополнительно содержащий формирование, по меньшей мере, двух или более сегментов деформируемой мембраны, причем отдельные сегменты являются изолированными от других по постоянному току и подсоединенными к отдельным смещениям для независимого управления отдельными сегментами.

47. РЧ устройство, изготовленное согласно способу по п.43.

48. Управляемый напряжением конденсатор, содержащий сборку подложки с входным терминалом, терминалом управления и терминалом опорного напряжения; линии опорного напряжения, расположенные на сборке подложки, причем, по меньшей мере, одна из линий опорного напряжения соединена с терминалом опорного напряжения; механическую проводящую мембрану, расположенную на некотором расстоянии над сборкой подложки и соединенную с одной или несколькими линиями опорного напряжения на противоположных концах механической проводящей мембраны, одну или несколько опор, расположенных между сборкой подложки и механической проводящей мембраной, причем указанные одна или несколько опор поддерживают механическую проводящую мембрану; сигнальный проводник, расположенный на сборке подложки, причем напряжение на терминале управления, по меньшей мере, частично управляет положением механической проводящей мембраны; слой диэлектрического материала, расположенный между верхней поверхностью сигнального проводника и механической проводящей мембраной; и разделительный конденсатор к первому терминалу и второму терминалу, причем первый терминал соединен с входным терминалом и, причем второй терминал соединен с сигнальным проводником.

49. Конденсатор по п.48, в котором сигнальный проводник содержит непрозрачный материал.

50. Конденсатор по п.48, в котором материал для сигнального проводника содержит, по меньшей мере, одно из серебра, меди, золота, алюминия или их комбинации.

51. Конденсатор по п.48, в котором материал для сигнального проводника имеет электрическое удельное сопротивление меньше, чем 1·10^-6 Ом/м ( Ω -м).

52. Конденсатор по п.48, в котором материал для сигнального проводника имеет электрическое удельное сопротивление меньше, чем 0,1·10^-6 Ом/м ( Ω -м).

53. Конденсатор по п.48, в котором слой диэлектрического материала расположен непосредственно на верхней поверхности сигнального слоя.

54. Конденсатор по п.48, дополнительно содержащий изолятор, расположенный между, по меньшей мере, концом механической проводящей мембраны и соответствующей линией опорного напряжения.

55. Конденсатор по п.54, в котором линия опорного напряжения соответствует сигнальному заземлению, но выполнена таким образом, чтобы иметь смещение по постоянному току.

56. Конденсатор по п.48, в котором терминал опорного напряжения выполнен с возможностью соединения с опорным сигнальным заземлением.

57. Конденсатор по п.48, дополнительно содержащий выходной терминал соединенный с противоположным концом сигнального проводника, и затем с входным терминалом.

58. Конденсатор по п.48, в котором конденсатор реализован в виде РЧ аттенюатора.

59. Конденсатор по п.48, в котором слой диэлектрического материала, расположенный между верхней поверхностью сигнального проводника и механической проводящей мембраной, имеет толщину в пределах 0,1-0,5 мкм.

60. Конденсатор по п.48, в котором сигнальный проводник имеет толщину в пределах 0,5-5 мкм.