Способ изготовления устройства на основе гибких токопроводящих дорожек, устройство на основе гибких токопроводящих дорожек и система нейростимуляции - RU2016151490A
Код документа: RU2016151490A
Формула
1. Устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек, содержащее:
- дистальный участок (110), содержащий множество электродов (112);
- проксимальный участок (130), содержащий множество контактов (132); и
- полосу (120) между дистальным участком и проксимальным участком, содержащую множество токопроводящих дорожек (122), соединяющих, каждая, электрод с контактом, причем по меньшей мере токопроводящие дорожки встроены в диэлектрический слой (34, 36), при этом упомянутый диэлектрический слой встроен в слой (18, 24) биосовместимого полимера, при этом слой биосовместимого полимера имеет по меньшей мере одну внешнюю поверхность полимера, которая является по существу плоской, и при этом диэлектрический слой имеет толщину менее 500 нм.
2. Устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек по п. 1, в котором пакет (34, 36) диэлектрических слоев имеет толщину менее 300 нм или даже менее 250 нм.
3. Устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек по п. 1 или 2, в котором пакет (34, 36) диэлектрических слоев содержит по меньшей мере одно из оксида кремния, нитрида кремния и оксида алюминия или другого неорганического оксида.
4. Устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек по любому из предшествующих пунктов, дополнительно содержащее центральный стержень, при этом гибкая токопроводящая дорожка спирально намотана на центральный стержень с по существу плоской поверхностью, обращенной к центральному стержню.
5. Нейростимулирующее и/или нейросенсорное устройство (1), содержащее устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек по любому из пп. 1-4, при этом множество электродов выполнено с возможностью подведения сигналов к нервам и/или приема сигналов из нервов, и дополнительно содержащее нейростимулирующий и/или сенсорный блок (200) и имеющее множество дополнительных контактов (202) для контактирования с соответствующими контактами (132) проксимального участка (130) устройства на основе гибких токопроводящих дорожек.
6. Слуховой аппарат, содержащий нейростимулирующее и/или нейросенсорное устройство (1) по п. 5.
7. Способ изготовления устройства (100) на основе гибких токопроводящих дорожек, содержащего дистальный участок (110), содержащий множество электродов (112), проксимальный участок (130), содержащий множество контактов (132), и полосу (120) между дистальным участком и проксимальным участком, содержащую множество токопроводящих дорожек (122), соединяющих, каждая, электрод с контактом, причем способ содержит:
обеспечение подложки (10);
формирование первого слоя (18) биосовместимого полимера на подложке;
нанесение по меньшей мере одного диэлектрического слоя (34) на первый слой биосовместимого полимера посредством атомно-слоевого осаждения при температуре ниже температуры разложения первого биосовместимого полимера;
формирование по меньшей мере одного структурированного слоя (14, 14ʹ) металла на упомянутом по меньшей мере одном диэлектрическом слое, причем упомянутый структурированный слой металла определяет по меньшей мере некоторые из упомянутых электродов, контактов и токопроводящих дорожек;
нанесение по меньшей мере одного дополнительного диэлектрического слоя (36) на структурированный слой металла посредством атомно-слоевого осаждения при температуре ниже температуры разложения первого биосовместимого полимера и структурирование этого дополнительного диэлектрического слоя для открытия электродов и контактов;
формирование второго слоя (24) биосовместимого полимера на втором диэлектрическом слое и структуририрование второго слоя биосовместимого полимера для открытия электродов и контактов; и
удаление упомянутой подложки.
8. Способ по п. 7, в котором этапы атомно-слоевого осаждения выполняют при температуре ниже 120°C.
9. Способ по п. 7 или 8, в котором:
- этап нанесения по меньшей мере одного диэлектрического слоя (34) на первый слой (18) биосовместимого полимера посредством атомно-слоевого осаждения содержит нанесение первого диэлектрического слоя на первый слой биосовместимого полимера и нанесение второго диэлектрического слоя на первый диэлектрический слой; и/или
- этап нанесения по меньшей мере одного дополнительного диэлектрического слоя (36) на структурированный слой (14, 14ʹ) металла посредством атомно-слоевого осаждения содержит нанесение первого дополнительного диэлектрического слоя на структурированный слой металла и нанесение второго дополнительного диэлектрического слоя на первый дополнительный диэлектрический слой.
10. Способ по любому из пп. 7-9, в котором упомянутый по меньшей мере один диэлектрический слой (34) и/или упомянутый по меньшей мере один дополнительный диэлектрический слой (36) выбирают отдельно из по меньшей мере одного из оксида кремния, нитрида кремния, оксида алюминия или другого неорганического оксида.
11. Способ по любому из пп. 7-10, в котором упомянутый по меньшей мере один диэлектрический слой (34) и дополнительный по меньшей мере один дополнительный диэлектрический слой (36) осаждают, каждый, с толщиной менее 100 нм.
12. Способ по любому из пп. 7-11, в котором первый слой (18) биосовместимого полимера и второй слой (24) биосовместимого полимера состоят, каждый, из электроизолирующего полимера.
13. Способ по п. 12, в котором электроизолирующий полимер выбирают из парилена и полиимида.
14. Способ по любому из пп. 7-14, дополнительно содержащий обеспечение разделительного слоя (32) на подложке (10) до формирования первого слоя (18) биосовместимого полимера, и при этом этап удаления упомянутой подложки содержит растворение упомянутого разделительного слоя.
15. Способ по любому из пп. 7-14, при этом способ дополнительно содержит удаление подложки после формирования второго слоя (24) биосовместимого полимера на втором диэлектрическом слое таким образом, чтобы оставить первый биосовместимый слой с по существу плоской поверхностью.
16. Способ по любому из пп. 7-15, содержащий дополнительные этапы обеспечения центрального удлиненного стержня и намотки гибкой токопроводящей дорожки на центральный стержень с по существу плоской поверхностью, обращенной к центральному стержню.
17. Устройство (100) на основе гибких токопроводящих дорожек по любому из пп. 1-5, при этом устройство на основе гибких токопроводящих дорожек изготовлено способом по любому из пп. 7-16.
