Тонкопленочные устройства и их изготовление - RU2017140197A
Код документа: RU2017140197A
Формула
1. Многослойная подложка большой площади содержащая:
подложку большой площади содержащую множество всех твердотельных и неорганических электрохромных устройств на ней; и
усилительную плиту,
причем одна из подложки и усилительной плиты является гибким стеклом толщиной 0,5 мм или менее.
2. Многослойная подложка большой площади п. 1, в которой как подложка большой площади, так и усилительная плита являются гибким стеклом.
3. Способ изготовления оптического устройства, причем упомянутый способ включает в себя скашивание одного или более краев нижележащего слоя материала до изготовления перекрывающих слоев на нем.
4. Способ по п. 3, в котором нижележащий слой материала является нижним проводящим слоем и оптическое устройство является электрохромным устройством.
5. Способ по п. 3, в котором скашивание одного или более краев нижнего проводящего слоя включает в себя лазерную абляцию.
6. Способ по п. 5, в котором лазер является расфокусированным для создания гладких контуров в области скошенной края.
7. Электрохромное устройство, содержащее нижний прозрачный проводящий слой, расположенный на подложке, причем нижний прозрачный проводящий слой имеет один или более скошенных краев.
8. Электрохромное устройство п. 7, в котором нижний прозрачный проводящий слой составляет между от около 0,25 мкм до около 1 мкм толщины.
9. Электрохромное устройство п. 8, в котором скошенная часть одного или более скошенных краев составляет между от около 0,25 и до около 1000 мкм шириной.
10. Способ изготовления открытого места под контактную площадку шины, причем упомянутый способ содержит лазерную абляцию лежащих выше материалов до нижележащего проводящего слоя с использованием варьируемой глубины лазерной абляции вдоль множества отдельных линий скрайбирования во время изготовления открытого места под контактную площадку шины.
11. Способ по п. 10, в котором каждая из отдельных линий скрайбирования, множества линий скрайбирования, нарезается с использованием цилиндрического профиля луча при одинаковом уровне плотности энергии.
12. Способ по п. 10, в котором по меньшей мере две отдельные линии скрайбирования, из множества линий скрайбирования, нарезаются с использованием разных уровней плотности энергии.
13. Способ по п. 12, в котором лазер выполнен с возможностью прогрессивно удалять больше материала из нижележащего проводящего слоя в каждой из множества линий скрайбирования, причем область абляции каждой из линий скрайбирования перекрывается по меньшей мере частично с областью абляции предыдущей линии скрайбирования, и множество линий скрайбирования изготавливают с наименьшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом близком положении к слоям устройства и наибольшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом дальнем положении от слоев устройства.
14. Способ по п. 12, в котором лазер выполнен с возможностью прогрессивно удалять больше материала из нижележащего проводящего слоя в каждой из множества линий скрайбирования, причем область абляции упомянутых по меньшей мере двух линий скрайбирования перекрывается по меньшей мере частично с областью абляции, и множество линий скрайбирования изготавливают с наименьшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом близком положении к слоям устройства и наибольшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом дальнем положении от слоев устройства.
15. Способ по п. 12, в котором лазер выполнен с возможностью прогрессивно удалять больше материала из нижележащего проводящего слоя в каждой из множества линий скрайбирования, причем область абляции каждой линии скрайбирования перекрывается по меньшей мере частично с областью абляция предыдущих линий скрайбирования, и множество линий скрайбирования изготавливают с наибольшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом близком положении к слоям устройства и наименьшим удалением нижележащего проводящего слоя в самом дальнем положении от слоев устройства.
16. Электрохромное устройство, содержащее:
один или более слоев материала, расположенных между первым проводящим слоем и вторым проводящим слоем; и
скошенный участок на по меньшей мере одном нижележащем слое электрохромного устройства, причем скошенный участок сформирован посредством лазерной абляции, и причем скошенный участок включает в себя более чем один край по меньшей мере одного нижележащего слоя.
17. Электрохромное устройство по п. 16, в котором лазерная абляция содержит подачу лазерного излучения с той же стороны прозрачной подложки, на которой электрохромное устройство изготавливается, или подачу лазерного излучения со стороны прозрачной подложки, противоположной стороне, на которой электрохромное устройство изготавливается.
18. Электрохромное устройство по п. 17, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 100 фемтосекунд и около 100 наносекунд.
19. Электрохромное устройство по п. 17, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 1 пикосекунды и около 50 наносекунд.
20. Электрохромное устройство по п. 17, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 20 пикосекунд и около 30 наносекунд.
21. Электрохромное устройство по п. 16, в котором первый проводящий слой является прозрачным проводящим оксидным слоем, ближайшим к прозрачной подложке, на которой электрохромное устройство изготавливается, причем скошенный участок находится на по меньшей мере первом проводящем слое.
22. Электрохромное устройство по п. 21, в котором первый проводящий слой полируется до формирования скошенного участка или первый проводящий слой полируется после формирования скошенного участка.
23. Электрохромное устройство по п. 21, в котором первый проводящий слой составляет между около 0,25 и около 1 мкм в толщину.
24. Электрохромное устройство по п. 23, в котором скошенный участок первого проводящего слоя составляет между около 0,25 и около 1000 мкм в ширину.
25. Электрохромное устройство по п. 23, в котором скошенный участок первого проводящего слоя составляет между около 0,5 и около 100 мкм в ширину.
26. Электрохромное устройство по п. 23, в котором скошенный участок прозрачного проводящего оксидного слоя составляет между около 1 и около 10 мкм в ширину.
27. Электрохромное устройство по п. 21, в котором скошенный участок является частью изолирующей канавки в первом проводящем слое, причем изолирующая канавка обеспечивает электрическую изоляцию одной секции электрохромного устройства от другой секции электрохромного устройства.
28. Электрохромное устройство по п. 16,
в котором по меньшей мере один нижележащий слой со скошенным участком включает в себя первый проводящий слой, который является прозрачным проводящим оксидным слоем, ближайшим к прозрачной подложке, на которой электрохромное устройство расположено; и
в котором слои электрохромного устройства, лежащие над по меньшей мере одним нижележащим слоем со скошенным участком, имеют перекрывающий участок, продолжающийся за пределы скошенного участка.
29. Электрохромное устройство по п. 17, дополнительно содержащее диффузионный барьер между прозрачной подложкой и электрохромным устройством.
30. Электрохромное устройство по п. 16, в котором скошенный участок является ступенчатым или косым.
31. Способ изготовления электрохромного устройства, содержащего один или более слоев материала, расположенных между первым проводящим слоем и вторым проводящим слоем, причем упомянутый способ содержит этапы, на которых:
принимают прозрачную подложку, имеющую по меньшей мере один слой электрохромного устройства, изготовленного на ней;
выполняют скос двух или более краев по меньшей мере одного слоя электрохромного устройства с использованием лазерной абляции; и
изготавливают один или более дополнительных слоев электрохромного устройства над по меньшей мере одним слоем и продолжая за пределы двух или более краев, которые были скошены на этапе (b).
32. Способ по п. 31, в котором лазерная абляция включает в себя использование расфокусированного лазера для удаления материала, чтобы образовать гладкий контур на двух или более краях.
33. Способ по п. 31, дополнительно содержащий этап, на котором полируют по меньшей мере один слой до или после этапа (b).
34. Способ по п. 31, в котором лазерная абляция содержит подачу лазерного излучения с той же стороны прозрачной подложки, на которой электрохромное устройство изготавливается, или подачу лазерного излучения со стороны прозрачной подложки, противоположной стороне, на которой электрохромное устройство изготавливается.
35. Способ по п. 31, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 100 фемтосекунд и около 100 наносекунд.
36. Способ по п. 31, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 1 пикосекунды и около 50 наносекунд.
37. Способ по п. 31, в котором лазерная абляция содержит использование лазера с длительностью импульса между около 20 пикосекунд и около 30 наносекунд.
38. Способ по п. 31, в котором по меньшей мере один слой, скошенный на этапе (b), включает в себя первый проводящий слой; и
в котором первый проводящий слой является прозрачным проводящим оксидным слоем, ближайшим к прозрачной подложке, на которой электрохромное устройство изготавливается.
39. Способ по п. 38, в котором первый проводящий слой составляет между около мкм 0,25 и около 1 мкм в толщину.
40. Способ по п. 38, в котором на этапе (b) формируют скошенный участок между около 0,25 и около 1000 мкм в ширину.
41. Способ по п. 38, в котором на этапе (b) формируют скошенный участок между около 0,5 и около 100 мкм в ширину.
42. Способ по п. 38, в котором на этапе (b) формируют скошенный участок между около 1 и около 10 мкм в ширину.
43. Способ по п. 38, в котором на этапе (b) формируют изолирующую канавку в первом проводящем слое, причем изолирующая канавка обеспечивает электрическую изоляцию одной секции электрохромного устройства от другой секции электрохромного устройства.
44. Электрохромное устройство содержащее:
один или более слоев материала, расположенных между первым проводящим слоем и вторым проводящим слоем;
изолирующую канавку, разделяющую один или более слоев электрохромного устройства на отдельные секции, причем один или более слоев содержит первый проводящий слой, который является ближайшим к прозрачной подложке, на которой электрохромное устройство изготавливается; и
краевой скошенный участок на изолирующей канавке.
45. Электрохромное устройство по п. 44, в котором первый проводящий слой является прозрачным проводящим оксидным слоем.
46. Электрохромное устройство по п. 45, в котором краевой скошенный участок является ступенчатым или косым.
47. Способ изготовления электрохромного устройства, содержащего один или более слоев материала, расположенных между первым проводящим слоем и вторым проводящим слоем, причем упомянутый способ содержит этапы, на которых:
изготавливают изолирующую канавку в по меньшей мере одном нижележащем слое электрохромного устройства; причем изолирующая канавка отделяет первую секцию электрохромного устройства от второй секции; причем каждая из первой и второй секций содержит скошенный край вдоль изолирующей канавки; и
изготавливают вышележащие слои электрохромного устройства над по меньшей мере одним нижележащим слоем.
48. Способ по п. 47, в котором по меньшей мере один нижележащий слой включает в себя первый проводящий слой, расположенный смежно с прозрачной подложкой, на которой электрохромное устройство изготавливается.
49. Способ по п. 48, в котором первый проводящий слой является прозрачным проводящим оксидным слоем, ближайшим к прозрачной подложке, и этап i) выполнен с использованием этапа лазерной абляции.
50. Способ по п. 49, в котором этап лазерной абляции включает в себя использование расфокусированного лазера, чтобы образовать гладкий контур на скошенном крае.
51. Способ по п. 50, дополнительно содержащий этап, на котором полируют первый проводящий слой до этапа i) или после этапа i).
52. Способ по п. 49, в котором этап лазерной абляции содержит подачу лазерного излучения с той же стороны прозрачной подложки, на которой электрохромное устройство изготавливается, или подачу лазерного излучения со стороны прозрачной подложки, противоположной стороне, на которой электрохромное устройство изготавливается.
