Тонкопленочные устройства и их изготовление - RU2014128536A

Реферат

1. Способ изготовления оптического устройства, которое содержит один или более слоев материалов, расположенных между первым и вторым проводящим слоем, включающий следующие этапы:(i) получение подложки, которая содержит первый проводящий слой на ее рабочей поверхности;(ii) удаление первой полосы первого проводящего слоя в диапазоне между от около 10% до около 90% периметра подложки;(iii) осаждение упомянутого одного или более слоев материаловоптического устройства и второго проводящего слоя для покрытия первого проводящего слоя, при том, что, при необходимости, они могут простираться за периметр первого проводящего слоя;(iv) удаление второй полосы, которая является более узкой, чем первая полоса, из всех слоев по всему периметру подложки, при том, что глубина удаления является, по меньшей мере, достаточной для удаления первого проводящего слоя;(v) удаление, по меньшей мере, одной области второго прозрачного проводящего слоя, а также одного или более слоев оптического устройства под ним, для освобождения, по меньшей мере, одной открытой области первого проводящего слоя; и(vi) нанесения шины на, по меньшей мере, одну открытую область первого прозрачного проводящего слоя,в котором, по меньшей мере, один из первого и второго проводящих слоев является прозрачным.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что этап (ii) включает удаление первой полосы первого проводящего слоя в диапазоне между от около 50% до около 75% по периметру подложки.3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что по меньшей мере одна открытая область первого проводящего слоя является открытой, и изготовленной вдоль области периметра оптического устройства вблизи стороны или сторон подложки, в которых первый проводящий сл