Способ и устройство для плазменной обработки пористого тела - RU2008114322A

Реферат

1. Способ плазменной обработки пористого тела, включающий стадии, на которых генерируют плазму с использованием инертного газа или газовой смеси, состоящей из инертного газа и химически активного газа, (а) подают полученную плазму к пористому телу с расходом, отнесенным к единице площади поверхности пористого тела, составляющим от 0,002 до 2 л/мин/см2, (b) просасывают пористое тело в атмосфере плазмы, или (с) просасывают пористое тело при подаче к пористому телу плазмы с указанной величиной расхода, вызывая прохождение плазмы через пористое тело. ! 2. Устройство для плазменной обработки пористого тела в камере, содержащее средство для генерирования плазмы, трубопровод для подачи плазмообразующего газа, представляющего собой инертный газ или газовую смесь, состоящую из инертного газа и химически активного газа, к средству генерирования плазмы, и пористую подложку, размещенную в камере, при этом пористая подложка размещена в таком месте, что она воспринимает давление потока плазмы, подводимой от средства генерирования плазмы, при этом указанное давление потока плазмы приложено к пористому телу или пористой подложке, контактирующей с пористым телом. ! 3. Устройство для плазменной обработки по п.2, содержащее дополнительно средство для просасывания пористого тела или пористой подложки, при этом пористое тело или пористая положка просасывается при нахождении пористого тела в контакте с пористой подложкой. ! 4. Устройство для плазменной обработки пористого тела в камере, содержащее средство генерирования плазмы, трубопровод подачи плазмообразующего газа, представляющего собой инертный газ или газовую смесь, состоящую