Способ плазменной обработки поверхности - RU2009102630A

Реферат

1. Способ плазменной обработки поверхности внутри полого тела (4), включающий следующие технологические стадии: ! заполнение полого тела (4), имеющего одну стенку, выполненную из диэлектрического материала, технологическим газом; ! обеспечение газонепроницаемости путем герметизации полого тела (4), ! введение полого тела (4), герметизированного для обеспечения газонепроницаемости, в пространство (5) между по меньшей мере двумя электродами (1, 2), причем в этом пространстве (5) за пределами полого тела преобладает внешнее давление по меньшей мере 0,05 МПа (0,5 бар), в то время как во внутренней камере полого тела преобладает внутреннее давление также по меньшей мере 0,05 МПа (0,5 бар), а пространство (5) между электродами (1, 2) заполнено газом, для которого требуется более высокая напряженность поля для зажигания в случае внешнего давления, чем для технологического газа в случае внутреннего давления, и ! зажигание плазмы внутри полого тела (4) путем приложения между электродами (1, 2) достаточно высокого напряжения переменного тока. ! 2. Способ по п.1, в котором внешнее давление не выше, чем внутреннее давление. ! 3. Способ по п.1, в котором плазму получают исключительно внутри полого тела (4). ! 4. Способ по п.1, в котором внешнее давление и/или внутреннее давление составляет максимально 1 МПа (10 бар), предпочтительно, от 0,08 до 0,2 МПа (от 0,8 до 2 бар). ! 5. Способ по п.4, в котором внешнее давления равно атмосферному давлению. ! 6. Способ по п.1, в котором внутреннее давление выбирают таким, чтобы оно было равно внешнему давлению или не более чем на 0,1 МПа (1 бар) превышало внешнее давление. ! 7. Способ по п.1, в котором в качестве полого тела выбирают пакет, бут