Способ осаждения тонкой полимерной пленки в газовой фазе при низком давлении - RU2010152839A

Реферат

1. Способ осаждения одного или нескольких тонких слоев, в котором, в частности, органический материал или образующий полимер технологический газ вместе с газом-носителем с помощью газовпускного устройства (3) вводят в осадительную камеру (8), чтобы на поверхности (7') субстрата (7), размещенного на несущей поверхности (4') держателя (4) подложки, который расположен напротив газовпускного устройства (3) в отдалении от него, осадить тонкий слой, в частности, в форме полимера, отличающийся тем, что газовпускное устройство (3) и/или несущую поверхность (4') термостатируют таким образом, что температура (TS) несущей поверхности (4') является более низкой, чем температура (TG) газовпускного устройства (3), причем временно, перед поступлением технологического газа в осадительную камеру (8), при первом давлении (Р1) в осадительной камере (8) субстрат (7), размещенный на несущей поверхности (4'), стабилизируют путем отведения теплоты к держателю (4) подложки до температуры (TD) субстрата, которая только незначительно превышает температуру (TS) несущей поверхности (4'), но является гораздо более низкой, чем температура (TG) газовпускного устройства (3), после чего давление (Р1) в осадительной камере (8) снижают до рабочего давления (Р2), и по достижении рабочего давления (Р2) в осадительную камеру (8) подают технологический газ. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-носитель и, соответственно, технологический газ выходит из отверстий (6) тщательно отполированной и, в особенности, позолоченной зоны (3') выхода газа. ! 3. Способ по одному или нескольким из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что нагревают формирующее зону (3') выхода газа, скомпонованное в в