Способ и устройство для управления толщинами слоя покрытия при нанесении центрифугированием - RU2008122966A

Реферат

1. Способ распределения вязкой жидкости по поверхности подложки с высокой равномерностью в определенной области, содержащий этапы: ! i. помещают подложку, по существу, горизонтально на опору; ! ii. наносят вязкую, отверждаемую ультрафиолетом (УФ) жидкость на поверхность упомянутой подложки; ! iii. вращают подложку для распределения жидкости радиально наружу; и ! iv. термически кондиционируют жидкость на подложке для того, чтобы локально повлиять на ее вязкость особым образом; ! v. экспонируют жидкость УФ-излучением первой интенсивности для частичного отверждения жидкости; ! vi. удаляют центрифугированием избыточную жидкость с диска; ! vii. экспонируют жидкость УФ-излучением второй интенсивности для отверждения жидкости. ! 2. Способ по п.1, в котором термическое кондиционирование жидкости происходит посредством потока горячего воздуха. ! 3. Способ по любому из пп.1 или 2, в котором первая интенсивность УФ-излучения равна 10-100 мВт/см2. ! 4. Способ по любому из пп.1 или 2, в котором вторая интенсивность УФ-излучения означает несколько сотен мВт/см2. ! 5. Способ по п.1, в котором во время термического кондиционирования подложку вращают со скоростью 400-1200 об/мин. ! 6. Способ по п.1, в котором во время экспонирования УФ-излучением первой интенсивности подложку вращают со скоростью между 400-1000 об/мин. ! 7. Способ по п.1, в котором этапы с i) no iv) выполняют на одном технологическом посту. ! 8. Способ по п.1, в котором каждый из этапов vi) и vii) выполняют на отдельных технологических постах. ! 9. Способ по п.2, в котором во время термического кондиционирования подложку вращают со скоростью 400-1200 об/мин. ! 10. Способ по п.2, в котором во время экспонирования УФ-излучением