Фотоопределяемая дырчатая пластина и способ ее изготовления - RU2013129238A

Реферат

1. Способ изготовления дырчатой пластины, включающий:осаждение отделяемого затравочного слоя поверх подложки;нанесение первой фотолитографической маски с рисунком поверх отделяемого затравочного слоя, причем первая фотолитографическая маска с рисунком включает негативное изображение требуемой схемы расположения отверстий;электролитическое осаждение первого материала поверх открытых участков отделяемого затравочного слоя, определенных первой маской;нанесение второй фотолитографической маски поверх первого материала, причем вторая фотолитографическая маска включает негативное изображение первой полости;электролитическое осаждение второго материала поверх открытых участков первого материала, определенных второй маской;удаление обеих масок; итравление отделяемого затравочного слоя для освобождения первого материала и второго материала,в котором первый материал и второй материал образуют дырчатую пластину для применения при распылении жидкости.2. Способ по п.1, в котором первая фотолитографическая маска с рисунком задает в первом материале отверстия диаметром от приблизительно 1 мкм до приблизительно 5 мкм.3. Способ по п.1, в котором толщина первого материала, сформированного вблизи отверстий, не зависит от диаметра отверстий.4. Способ по п.1, в котором шаг отверстий и диаметр отверстий выбирают таким образом, что скорость потока распыляемой жидкости через отверстия является регулируемой.5. Способ по п.1, дополнительно включающий:нанесение третьей фотолитографической маски поверх второго материала, причем третья фотолитографическая маска включает негативное изображение второй полости;электро