Способ обработки травильного раствора для процесса травления - RU2016111408A
Код документа: RU2016111408A
Формула
1. Способ обработки травильного раствора (40) для процесса травления, причем травильный раствор (40) содержит рассеянные в травильном растворе (40) кремниевые соединения (41), и причем на первом шаге травильный раствор (40) подают в полость (300) контейнерного средства (30), и причем на втором шаге в контейнерном средстве (30) создают электромагнитное поле (23, 23'), и причем электромагнитное поле (23, 23') простирается по существу в полости (300), и причем на третьем шаге подаваемый в полость (300) травильный раствор (40) обрабатывают посредством электромагнитного поля (23, 23') таким образом, что образованные кремниевыми соединениями (41) выпавшие фазы (42) растворяются и/или формирование выпавших фаз (42) ограничивается.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на третьем шаге посредством электромагнитного поля (23, 23') генерируют резонирующую пульсацию травильного раствора (40).
3. Способ по п. 1, причем на третьем шаге обеспечивают имеющее частоту колебаний и амплитуду колебаний колебательное электромагнитное поле (23, 23'), причем частоту колебаний и/или амплитуду колебаний изменяют во времени таким образом, что выпавшие фазы (42) растворяются, и/или таким образом, что формирование выпавших фаз (42) предотвращается.
4. Способ по п. 1, причем на третьем шаге обеспечивают однородное или неоднородное электромагнитное поле (23, 23'), причем электромагнитное поле (23, 23') изменяют вдоль продольного направления (103) контейнерного средства (30), и причем полость (300) и/или контейнерное средство (30) простирается по существу вдоль продольного направления (103).
5. Способ по п. 1, причем на третьем шаге электромагнитное поле (23, 23') модулируют с помощью модулирующего сигнала, имеющего частоту модуляции и/или амплитуду модуляции и/или фазу модуляции, и причем частоту модуляции и/или амплитуду модуляции и/или фазу модуляции модулирующего сигнала изменяют во времени таким образом, что выпавшие фазы (42) растворяются, и/или таким образом, что формирование выпавших фаз (42) предотвращается.
6. Способ по одному из предшествующих пунктов, причем электромагнитное поле (23, 23') содержит сигнал, имеющий синусоидальную форму, треугольную форму, пилообразную форму или прямоугольную форму.
7. Способ по одному из пп. 1-5, причем на первом шаге травильный раствор (40) подают через полость (300) контейнерного средства (30) вдоль направления (103ʺ) потока, по существу параллельного продольному направлению (103) полости (300) и/или контейнерного средства (30), и, причем направление потока реверсируют посредством электромагнитного поля (23, 23') в направлении, антипараллельном направлению (103ʺ) потока, с использованием магнитной структуры (20) из магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21'''), размещенных вдоль продольного направления (103) в или на полости (300) и/или по окружности вокруг оси (103'), и причем ось (103') является по существу параллельной продольному направлению (103).
8. Способ по одному из пп. 1-5, причем травильный раствор (40) содержит ионы (41) кремниевых соединений и противоионы (41'), и причем на четвертом шаге ионы (41) кремниевых соединений и противоионы (41') отделяют (302) друг от друга посредством электромагнитного поля (23, 23'), и причем ионы (41) кремниевых соединений и противоионы (41') отделяют в зависимости от изменений магнитного поля во времени и/или в пространстве, и причем на пятом шаге ионы (41) кремниевых соединений и противоионы (41'), предпочтительно, сталкивают (301) в зависимости от изменений магнитного поля во времени и/или в пространстве, и причем на четвертом шаге и/или на пятом шаге ионы кремниевых соединений и/или противоионы, предпочтительно, перемещаются по винтовым, линейным и/или синусоидальным маршрутам (43, 43').
9. Способ по одному из пп. 1-5, отличающийся тем, что на третьем шаге характеристики раствора травильного раствора (40) измеряют посредством датчика (25), причем электромагнитное поле (23, 23') изменяют во времени и/или в пространстве в зависимости от измеренных значений характеристик раствора таким образом, что выпавшие фазы (42) растворяются, и/или таким образом, что формирование выпавших фаз (42) предотвращается, и причем характеристики раствора, предпочтительно, являются направлением (103ʺ) потока, скоростью потока, электрической проводимостью, поверхностным натяжением, составом и/или ионной силой травильного раствора (40).
10. Устройство (2, 2', 2ʺ) для обработки травильного раствора (40) для процесса травления, причем устройство (2, 2', 2ʺ) содержит магнитную структуру (20) и контейнерное средство (30), и, причем контейнерное средство (30) имеет полость (300), и причем магнитная структура (20) выполнена для создания электромагнитного поля (23, 23'), простирающегося по существу в полость (300) контейнерного средства (30), и причем устройство (2, 2', 2ʺ) выполнено для обработки подаваемого в полость (300) травильного раствора (40) посредством электромагнитного поля (23, 23') таким образом, что образованные кремниевыми соединениями (41) выпавшие фазы (42) растворяются и/или формирование выпавших фаз (42) предотвращается.
11. Устройство (2, 2', 2ʺ) по п. 10, отличающееся тем, что контейнерное средство (30) содержит стенку (32, 32'), которая, по меньшей мере, частично окружает полость (300), причем магнитная структура (20) содержит одно или несколько магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21'''), и причем одно или несколько магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21''') размещены на стенке (32, 32'), и причем одно или несколько магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21''') расположены на стенке (32, 32') на внутренней стороне (33) контейнерного средства (30), на стенке (32, 32') на внешней стороне (33') контейнерного средства (30), в стенке (32, 32') контейнерного средства (30) и/или в коробчатом элементе (34) в полости (300), и причем одно или несколько магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21''') магнитной структуры (20), предпочтительно, являются постоянными магнитами и/или электромагнитами, и, причем электромагнит, предпочтительно, представляет собой винтовую катушку, навитую вокруг контейнерного средства (30).
12. Устройство (2, 2', 2ʺ) по п. 10, отличающееся тем, что по меньшей мере два магнитных устройства (21, 21', 21ʺ, 21''') одного или нескольких магнитных устройств (21, 21', 21ʺ, 21''') линейно размещены вдоль продольного направления (103) и/или по окружности вокруг полости (300), предпочтительно вокруг оси (103'), являющейся по существу параллельной продольному направлению (103), причем по меньшей мере два магнитных устройства (21, 21', 21ʺ, 21'''), предпочтительно, размещены попарно на противостоящих стенках (32, 32').
13. Устройство (2, 2', 2ʺ) по одному из пп. 10-12, отличающееся тем, что устройство содержит средство (24) управления, предпочтительно контур (24) управления, и/или датчик (25), причем средство (24) управления выполнено для управления магнитной структурой (20), и/или причем датчик (25) выполнен для измерения характеристик раствора травильного раствора (40), и причем, предпочтительно, средство (24) управления выполнено для управления магнитной структурой (20) в зависимости от измеренных датчиком (25) характеристик раствора таким образом, что выпавшие фазы (42) растворяются, и/или таким образом, что формирование выпавших фаз (42) предотвращается.
14. Травильный аппарат (1) для травления кремнисто-стального материала (3) в травильном растворе, причем травильный аппарат (1) содержит устройство (11) травильной ванны, устройство (12) регенерации кислоты, промывающее устройство (13), смесительное устройство (14), концентрирующее устройство (15) и/или трубопровод (11', 12', 13', 13ʺ, 13''', 14', 14ʺ, 15', 15ʺ, 16'), отличающийся тем, что травильный аппарат (1) содержит одно или несколько устройств (2, 2', 2ʺ) по одному из пп. 10-13, и, причем устройство из одного или нескольких устройств (2, 2', 2ʺ) размещено в, на и/или у устройства (11) травильной ванны, устройства (12) регенерации кислоты, промывающего устройства (13), смесительного устройства (14), концентрирующего устройства (15) и/или трубопровода (11', 12', 13', 13ʺ, 13''', 14', 14ʺ, 15', 15ʺ, 16').
15. Травильный аппарат (1) по п. 14, отличающийся тем, что контейнерное средство (40) устройства (2, 2', 2ʺ) является неотъемлемой частью устройства (11) травильной ванны, устройства (12) регенерации кислоты, промывающего устройства (13), смесительного устройства (14), концентрирующего устройства (15) или трубопровода (11', 12', 13', 13ʺ, 13''', 14', 14ʺ, 15', 15ʺ, 16').
