Код документа: RU2014102901A
1. Чувствительное устройство для измерения давления текучей среды, содержащее:вибрационный датчик, содержащий чувствительную мембрану, которая имеет толщину по меньшей мере 1 мкм, при этом вибрационный датчик имеет полный объем меньше или равный 0,3 мм.2. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее связывающий слой, который прочно соединен с вибрационным датчиком.3. Устройство по п. 2, дополнительно содержащее фиксирующее средство, которое прочно соединено со связывающим слоем.4. Устройство по п. 1, в котором чувствительная мембрана имеет толщину 2 мкм.5. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее:корпус, охватывающий вибрационный датчик, причем корпус не охватывает всю чувствительную мембрану; иопорную пластину, имеющую отверстие, причем толщина опорной пластины составляет меньше или равна 150 мкм.6. Устройство по п. 5, дополнительно содержащее нижнюю пленку, охватывающую чувствительную мембрану.7. Устройство по п. 6, в котором нижняя пленка по существу является непроницаемой.8. Устройство по п. 6, в котором нижняя пленка является проницаемой.9. Устройство по п. 6, в котором нижняя пленка является акустически прозрачной.10. Чувствительное устройство для измерения давления текучей среды, содержащее:вибрационный датчик, содержащий чувствительную мембрану, толщина которой составляет по меньшей мере 1 мкм;корпус, ограничивающий полость, в которой размещен вибрационный датчик; иопорную пластину, на которой размещен корпус, причем толщина опорной пластины меньше чем одна пятая общей высоты устройства или равна одной пятой общей высоты устройства.11. Устройство по п. 9, дополнительно содержащее нижнюю пленку, которая размещена