Платформа система в корпусе для электронно-микрофлюидных устройств - RU2008141289A

Реферат

1. Интегрированное электронно-микрофлюидное устройство, содержащее ! полупроводниковую подложку (106) на первой основе (122); ! электронную схему (102, 104) на первой стороне полупроводниковой подложки; ! структуру сопряжения сигналов с внешним устройством, расположенную на первой стороне полупроводниковой подложки и выполненную с возможностью принимать электрические сигналы от электронной схемы, причем упомянутая структура сопряжения сигналов содержит по меньшей мере один T-образный внутренний контактный элемент (148, 150) с подложечным сегментом (112, 114), соответствующим вертикальной черте Т, который расположен на полупроводниковой подложке и соединен с электронной схемой, и с боковым сегментом (152, 154), соответствующим горизонтальной черте Т, который расположен на наклонной боковой поверхности подложки и образует электроизолированный вывод, соединяющийся с внешними контактными элементами (156, 158) на внешней поверхности первой основы (122), причем внешние контактные элементы выполнены с возможностью устанавливать электрический контакт с внешним устройством; ! микрофлюидную структуру (126, 364, 366, 372, 382), сформированную в полупроводниковой подложке, причем эта микрофлюидная структура выполнена с возможностью ограничивать текучую среду и позволять течение текучей среды в микрофлюидную структуру и из нее только на второй стороне полупроводниковой подложки, которая противоположна первой стороне полупроводниковой подложки и обращена от первой основы; и ! вторую основу на второй стороне полупроводниковой подложки, имеющую отверстие, которое позволяет течение текучей среды в микрофлюидную структуру и из нее. ! 2. Интегри�