Система с зондом кельвина с вращающейся внешней поверхностью зонда - RU2018102394A

1. Система (100) с зондом Кельвина для анализа исследуемого образца (134), содержащая

привод (102), управляемый и приводимый в действие с помощью средства (103) управления приводом и источника питания соответственно, для вращения элемента (106, 120) вокруг оси вращения;

соединенную с приводом (102) головку (120) с зондом Кельвина, которая содержит зонд Кельвина (122) и имеет на одном конце внешнюю поверхность (124) зонда Кельвина;

отличающаяся тем, что указанная внешняя поверхность зонда Кельвина находится на боковой поверхности, по отношению к оси вращения, указанной головки с зондом Кельвина.

2. Системам с зондом Кельвина по п.1, в которой головка с зондом Кельвина содержит множество внешних поверхностей (124) зонда Кельвина.

3. Система с зондом Кельвина по п.2, в которой указанные множество внешних поверхностей (124) зонда Кельвина выполнены более чем из одного материала.

4. Система с зондом Кельвина по п.3, в которой по меньшей мере одна внешняя поверхность (124) зонда Кельвина выполнена более чем из одного материала.

5. Система с зондом Кельвина по п.3, в которой более чем одна из указанных внешних поверхностей (124) зонда Кельвина выполнены из различного материала.

6. Система с зондом Кельвина по п.2, в которой более чем одна из указанных внешних поверхностей (124) зонда Кельвина имеют различные размеры.

7. Система с зондом Кельвина по пп.2-6, в которой указанные множество внешних поверхностей (124) зонда Кельвина распределены в различных угловых положениях вдоль поверхности указанной головки (120) с зондом Кельвина.

8. Система с зондом Кельвина по пп.2-6, в которой указанные множество внешних поверхностей (124) зонда Кельвина распределены и находятся в различных положениях вдоль ширины головки (120) с зондом Кельвина.

9. Система с зондом Кельвина по пп.2-7, в которой по меньшей мере одна внешняя поверхность зонда Кельвина выполнена с возможностью замены.

10. Калибровочная система для системы (100) с зондом Кельвина по одному из пп.1-5, характеризующаяся тем, что указанная система (100) с зондом Кельвина дополнительно содержит эталонный образец (132), размещенный на расстоянии от исследуемого образца (134), при этом эталонный образец предназначен для функционирования в качестве встроенной эталонной поверхности для калибровки указанного вращающегося зонда Кельвина.

11. Калибровочная система для системы (100) с зондом Кельвина по п.6, содержащая множество эталонных образцов (132), при этом указанные эталонные образцы выполнены из разных материалов.

12. Способ измерения с использованием системы (100) с зондом Кельвина по одному из пп.1-5 для определения присутствия водорода, характеризующийся тем, что с помощью указанной системы с зондом Кельвина измеряют поверхностные заряды и/или диэлектрические постоянные контактной поверхности, на металлической контактной поверхности в исследуемом образце (134).

13. Способ по п.12, в котором указанная система (100) с зондом Кельвина дополнительно содержит калибровочную систему для системы (100) с зондом Кельвина по п.10 или 11,

при этом проводят калибровку на первом эталонном образце, выполненном из материала, который соответствует исследуемому образцу и который не подвергался воздействию водорода, и

проводят калибровку на втором эталонном образце, выполненном из материала, который соответствует исследуемому образцу и который подвергали воздействию водорода.

14. Способ по п.12, в котором осаждают слой палладия поверх исследуемого образца (134) до начала функционирования указанной системы с зондом Кельвина.