Способ производства микроносителей - RU2015101761A

Реферат

1. Способ изготовления микроносителей (19, 20), включающий в себя следующие шаги:(a) получение пластины (6), имеющей структуру сэндвича, состоящего из нижнего слоя (7), верхнего слоя (8) и изолирующего слоя (9), расположенного между упомянутым нижним и верхним слоями (7, 8),(b) стравливание верхнего слоя (8) с целью разграничения боковых стенок (12) тел (11) микроносителей (19, 20),(c) нанесение первого активного слоя (13) как минимум на верхнюю поверхность (14) тел (11),(d) нанесение сплошного полимерного слоя (16, 22) поверх первого активного слоя (13),(e) стравливание нижнего слоя (7) и изолирующего слоя (9),(f) удаление полимерного слоя (16, 22) для освобождения микроносителей (19, 20).2. Способ по п. 1, в котором шаг (е) осуществляется путем первого травления для селективного травления нижнего слоя (7), например, путем использования травильной ванны и путем второго травления для селективного травления изолирующего слоя (9), например, путем сухого травления.3. Способ по п. 1, в котором полимерный слой (16) удаляется путем сухого травления.4. Способ по п. 1, в котором отличительная метка, например код (2, 3), гравируется на микроносителях (19, 20), например, между шагами (b) и (с).5. Способ по п. 1, в котором в состав нижнего слоя (7) и/или верхнего слоя (8) входит монокристаллический кремний.6. Способ по п. 1, в котором в состав изолирующего слоя (9) входит диоксид кремния.7. Способ по п. 1, в котором в состав полимерного слоя (16) входит дипараксилен.8. Способ по п. 1, в котором полимерный слой представляет собой слой клея (22), который связывает подложку (21), например пластину, изготавливаемую из кремния, кварца или стекла, с пластиной (6).9. Способ по п. 1, в котором второй активный слой (17) наносится как минимум на нижнюю поверхность (18) тел (11) микроносителей (19), например, между шагами (e) и (f).10. Способ по п. 1, в котором в состав первого