Pecvd-покрытие с применением кремнийорганического предшественника - RU2011150499A

Реферат

1. Способ задания смазывающих свойств покрытия на поверхности подложки, где способ включает этапы(a) обеспечения газообразного реагента, включающего кремнийорганический предшественник и необязательно O, вблизи поверхности подложки и(b) возбуждения плазмы из газообразного реагента, таким образом образуя покрытие на поверхности подложки с помощью усиленного плазмой парофазного химического осаждения (PECVD),(c) покрытие, имеющее следующие атомные соотношения, которые были измерены с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), SiOC, где w составляет 1, x составляет от приблизительно 0,5 до 2,4 и y составляет от приблизительно 0,6 до приблизительно 3,где смазывающие характеристики покрытия заданы с помощью задания соотношения Oк кремнийорганическому предшественнику в газообразном реагенте и/или с помощью задания электрической энергии, используемой для возбуждения плазмы.2. Способ получения гидрофобного покрытия на подложке, где способ включает этапы(a) обеспечения газообразного реагента, включающего кремнийорганический, предшественник и необязательно O, вблизи поверхности подложки и(b) возбуждения плазмы из газообразного реагента, таким образом образуя покрытие на поверхности подложки с помощью усиленного плазмой парофазного химического осаждения (PECVD),(c) покрытие, имеющее одно из следующих атомных соотношений, которые были измерены с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), SiOC, где w составляет 1, x составляет от приблизительно 0,5 до 2,4 и y составляет от приблизительно 0,6 до приблизительно 3,где гидрофобные характеристики покрытия заданы с помощью задания соотношения Ок кремнийорганичес