Способ по выделению газа для инспектирования поверхности с покрытием - RU2011150519A

Реферат

1. Способ инспектирования продукта процесса покрытия, где покрытие было нанесено на поверхность подложки с образованием поверхности с покрытием, где способ включает этапы:(а) обеспечения продукта как объекта инспекции;(c) измерения высвобождения, по меньшей мере, одной разновидности летучего вещества из объекта инспекции в газовое пространство вблизи поверхности с покрытием; и(d) сравнения результата этапа (с) с результатом этапа (с) для, по меньшей мере, одного эталонного объекта, измеренного при таких же тестовых условиях, таким образом определяя присутствие или отсутствие покрытия, и/или физическое и/или химическое свойство покрытия.2. Способ по п.1, где определяют физическое и/или химическое свойство покрытия, которое выбирают из группы, состоящей из его барьерного эффекта, его натяжения смачивания и его композиции, и которое предпочтительно является его барьерным эффектом.3. Способ по п.1 или 2, где этап (с) выполняют путем измерения массового расхода или объемного расхода указанной, по меньшей мере, одной разновидности летучего вещества в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием.4. Способ по п.1 или 2, где:(i) эталонный объект представляет собой непокрытую подложку; или(ii) эталонный объект представляет собой подложку, покрытую эталонным покрытием.5. Способ по п.1 или 2, включающий в качестве дополнительного этапа между этапами (а) и (с) этап(b) изменения атмосферного давления в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием так, чтобы обеспечивалась разность давлений через поверхность с покрытием, и для реализации более высокого массового расхода или объемного расхода разновидности летучего вещест�