Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу - RU2019100225A
Код документа: RU2019100225A
Формула
1. Масс-спектрометрический течеискатель, имеющий:
- многоступенчатый турбомолекулярный насос (12),
- соединенный со стороной всасывания турбомолекулярного насоса (12) масс-спектрометр (17),
- соединенный со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) насос (18) предварительного разрежения, и
- ступень (24) бустерного насоса, сторона всасывания которой включает в себя подсоединение (28) для подлежащего проверке проверяемый объект, а сторона нагнетания которой через трубопроводную разводку (22) соединена со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) и со стороной всасывания насоса (18) предварительного разрежения,
отличающийся тем,
что ступени (30, 32) турбомолекулярного насоса (12) и ступень бустерного насоса расположены на общем валу и имеют общий привод (34), и что трубопроводная разводка между стороной нагнетания соединяемой с проверяемым объектом ступенью бустерного насоса и стороной всасывания соединенной с масс-спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12) разъединена разделительной перегородкой (36).
2. Течеискатель по п. 1, отличающийся тем, что турбомолекулярный насос (12) выполнен двухступенчатым.
3. Течеискатель по п. 1 или 2, отличающийся тем, что откачивающие ступени турбомолекулярного насоса (12) и ступень (24) бустерного насоса образуют общий вакуумный насос.
4. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что привод (34) расположен на лежащем между откачивающими ступенями и насосом (18) предварительного разрежения конце турбомолекулярного насоса (12).
5. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что одна из откачивающих ступеней турбомолекулярного насоса (12) является ступенью (32) молекулярного насоса, и что турбомолекулярный насос (12) включает в себя по меньшей мере одну ступень (30) турбомолекулярного насоса.
6. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что ступень (24) бустерного насоса является ступенью турбомолекулярного насоса.
7. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что разделительная перегородка (36) является запирающим вдоль вала газопроводную разводку (22) уплотнением, через которое является передаваемым крутящий момент вала.
8. Течеискатель по п. 7, отличающийся тем, что уплотнение создают посредством уплотнения из ферромагнитной жидкости.
9. Течеискатель по одному из пп. 1-6, отличающийся тем, что разделительную перегородку (36) создают посредством ступени (38) сепараторного насоса, сторона всасывания которого соединена с масс - спектрометром (17), а сторона нагнетания которого соединена со сторонами нагнетания ступени (24) бустерного насоса и соединенной с масс - спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12).
10. Течеискатель по п. 9, отличающийся тем, что ступень (38) сепараторного насоса является ступенью молекулярного насоса или ступенью турбомолекулярного насоса.
