Устройство для измерения давления - RU2003123602A

Реферат

1. Устройство для измерения давления, имеющее корпус (9), в котором расположена подложка (3) с чувствительным элементом (31) и электрическими выводами (34) и который имеет первую полость (4), внутри которой заключен этот чувствительный элемент (31) и которая сообщается с первым каналом (13) подвода давления, образованным первым присоединением (12) для подвода давления, и вторую полость (5), которая герметично отделена от первой полости (4) и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы (34), отличающееся тем, что корпус (9) имеет герметично отделенную от первой его полости (4) и второй его полости (5) третью полость (6), которая сообщается со вторым каналом (11) подвода давления, образованным вторым присоединением (10) для подвода давления.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус (9) состоит из первой корпусной детали (1) и второй выполненной предпочтительно в виде крышки корпусной детали (2).

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что третья полость (6) корпуса ограничена обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) и внутренней стенкой (18) углубления, которое выполнено с обращенной к подложке (3) внутренней стороны (19) первой корпусной детали (1) и которое сообщается со вторым каналом (11) подвода давления или образует его.

4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены на первой корпусной детали (1).

5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что между обращенной к подложке (3) внутренней стороной (19) первой корпусной детали (1) и обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) расположено первое уплотнение (15), герметично отделяющее третью полость (6) корпуса от первой его полости (4).

6. Устройство по п.2, отличающееся тем, что на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2) расположено второе уплотнение (16), герметично отделяющее первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).

7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что второе уплотнение (16) имеет круговой участок (16а), расположенный на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2), и внутренний участок (16b), который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны этого кругового участка (16а) и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой (3) и перегородкой (22), выполненной на второй корпусной детали (2) и отделяющей первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).

8. Устройство по любому из пп.5-7, отличающееся тем, что первое уплотнение (15) и/или второе уплотнение (16) образованы каждое герметичным клеевым соединением и прежде всего валиком клеевого герметика.

9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что первое герметичное клеевое соединение (15) и/или второе герметичное клеевое соединение (16) расположены каждое в основном в одной плоскости.

10. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены выступающими с одной и той же стороны первой корпусной детали (1).

11. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления выполнено на первой корпусной детали (1) выступающим под прямым углом ко второму присоединению (10) для подвода давления.

12. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что во второй полости (5) корпуса на подложке (3) расположены защитные конденсаторы (35), предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости.

13. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно выполнено в виде датчика разности давлений.