Датчик давления - RU95106595A

Реферат

Датчик давления для измерения давления с малым разбросом включает подложку из хрупкого материала и мембранную сборку, закрепленную на подложке и герметично соединенную по периферии с подложкой. При подаче давления центральная часть мембраны прогибается в сторону подложки. Прогиб мембраны воспринимается тензодатчиками, которые определяют давление. Мембрана снабжена множеством отдельных опорных столбиков на стороне, обращенной к подложке, так что, когда при высоких избыточных давлениях мембрана (18) прогибается к подложке, опорные столбики удерживают мембрану от перемещения, чтобы избежать отказа или поломки мембраны. Количество опорных столбиков может изменяться. В предпочтительном варианте воплощения изобретения на подложку нанесен очень тонкий слой диоксида кремния, который является хорошим электрическим изолятором, и который также предназначен для компенсирования небольшого перемещения опорных столбиков, когда они касаются поверхности подложки для уменьшения напряжения, возникающего в мембране при возрастании избыточного давления.