Код документа: SU1589088A1
1
(21)4499218/25-10
(22)27.10.88
(46) 30.08.90. Бюл. № 32
(71)Кооператив «Диск
(72)В. Д. Кравченко, Э. Л. Егиазарян и Г. Э. Егиазарян
(53)531.787 (088.8)
(56)Заявка ФРГ № 3207833, кл. G 01 L 9/06, 1983.
(54)ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК
(57)Изобретение относится к измерительной технике, в частности к полупроводниковым датчикам давления,и позволяет повысить точность и технологичность изготовления датчиков. Для этого наряду с использованием измерительного к компенсационного мостов 5 и 7 с тензорезисторами 4 и 6, идентичных друг другу и расположенных на полупроводниковой пластине 1 соответственно в зоне мембраны 3 и вне этой зоны, в датчике применены балансировочные резисторы 8 и 9, включенные в идентичные плечи измерительного и компенсационного мостов 5 и 7, измерительные диагонали которых подключены к входам 10 и II дифференциального усилителя 12, установленного на пластине 1. Работа датчика основана на измерении сопротивления тензоре- зисторов при изменении давления. Датчик обеспечивает линейность выходного сигнала в широком диапазоне рабочих темпера- тур. 2 ил.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к полупроводниковым датчикам давления, и позволяет повысить точность и технологичность изготовления датчиков. Для этого наряду с использованием измерительного и компенсационного мостов 5 и 7 с тензорезисторами 4 и 6, идентичных друг другу и расположенных на полупроводниковой пластине 1 соответственно в зоне мембраны 3 и вне этой зоны, в датчике применены балансировочные резисторы 8 и 9, включенные в идентичные плечи измерительного и компенсационного мостов 5 и 7, измерительные диагонали которых подключены к входам 10 и 11 дифференциального усилителя 12, установленного на плистине 1. Работа датчика основана на измерении сопротивления тензорезисторов при изменении давления. Датчик обеспечивает линейность выходного сигнала в широком диапазоне рабочих температур. 2 ил.