Термометр сопротивления - RU2012124608A

Реферат

Термометр сопротивления, содержащий тонкопленочный медный чувствительный элемент термометра сопротивления с защитными слоями, снабженный контактами из меди и расположенный на поверхности изолирующей подложки, у которого терморезистор и контактные площадки расположены на адгезионном слое из тугоплавкого металла, защита терморезистора и контактных площадок выполнена из тугоплавкого металла толщиной 0,09-0,1 мкм с областью перекрытия 2-6 мкм по периметру элементов и из слоя неорганического диэлектрика, в котором в области контактных площадок сформированы "окна" для контактных узлов, куда нанесен токопроводяший слой, причем зона перекрытия токопроводяшего узла с терморезистором составляет 0,1-0,5 мм, а по остальному периметру контактной площадки - 15-20 мкм, отличающийся тем, что чувствительный элемент термометра сопротивления выполнен из меди с добавкой никеля, концентрацией от 0,01 до 0,2 процента от массы.