Детектор электромагнитного излучения с микроинкапсуляцией и устройство для обнаружения электромагнитных излучений, использующее такие детекторы - RU2014146155A

Реферат

1. Детектор электромагнитного излучения, предназначенный для функционирования на длине волны лр, находящейся в пределах спектрального диапазона, представляющего интерес, то есть между ли л, содержащий множество микроучастков, каждый из которых включает в себя мембрану (2), чувствительную к излучению, по меньшей мере, в спектральном диапазоне, представляющем интерес, и каждый микроучасток размещен в микрополости, образованной подложкой (1), верхней стенкой (5), используемой в качестве окна, прозрачного для излучения в спектральном диапазоне, представляющем интерес, по меньшей мере, для некоторых микроучастков из указанного множества, и боковыми стенками (4), прикрепленными к подложке и верхней стенке, причем мембрана (2) подвешена над подложкой (1) посредством, по меньшей мере, двух опорных кронштейнов (6), которые включают в себя электропроводящий слой (17), каждый из указанных опорных кронштейнов содержит конец, механически прикрепленный к подложке,отличающийся тем, чтоконцы упомянутых опорных кронштейнов (6), прикрепленных к подложке, закреплены в боковых стенках (4), иподложка и боковые стенки выполнены из последовательных слоев, которые сформированы непосредственно один над другим путем осаждения.2. Детектор электромагнитного излучения по п. 1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, некоторые из микрополостей герметизированы.3. Детектор электромагнитного излучения по п. 2, отличающийся тем, что герметизированные микрополости содержат газ, обладающий низкотемпературной проводимостью, такой как аргон, криптон или ксенон.4. Детектор электромагнитного излучения по п. 1, отличающийся тем, что боковые стенки (4), которые образуют упомянутые микрополости, сост