Способ изготовления устройства для обнаружения теплового излучения, содержащего активный микроболометр и пассивный микроболометр - RU2006134977A

Реферат

1. Способ изготовления устройства для обнаружения теплового излучения, содержащего, по меньшей мере, один активный микроболометр (19) и, по меньшей мере, один пассивный микроболометр (12), каждый из которых содержит подвешенную мембрану (22), выполняющую функцию поглотителя излучения, термометр и электрическое соединение, заключающийся в том, что активный (19) и пассивный (12) микроболометры формируют одновременно на одной опорной подложке (16), а отражающий экран (17) формируют на всем устройстве, а затем удаляют в местах напротив активных микроболометров (19), отличающийся тем, что мембрана (22) содержащая термометрический элемент (14) и элемент (13) поглощения излучения, обеспечивает электрические соединения, пассивный микроболометр (12) формируют на отражающем экране (17), который содержит, по меньшей мере, один металлический слой (18), находящийся в контакте с элементом (13) поглощения мембраны (22).2. Пассивный микроболометр (12), выполненный согласно способу, заявленному по п.1, отличающийся тем, что отражающийся экран (17) расположен под мембраной (22) в контакте с элементом (13) поглощения мембраны.3. Микроболометр по п.2, отличающийся тем, что толщина металлического слоя (18) составляет от 500 до 2000Е.