Предварительно сжатая ячейка емкостного микрообработанного преобразователя с напряженным слоем - RU2014121392A

Реферат

1. Предварительно сжатая ячейка (10) емкостного микрообработанного преобразователя, содержащая:подложку (12),мембрану (14), причем между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), причем мембрана содержит отверстие (15) и краевой участок (14a), окружающий отверстие (15),по меньшей мере часть напряженного слоя (17) на мембране (14), причем напряженный слой (17) имеет заданное значение напряжения относительно мембраны (14), напряженный слой (17) выполнен с возможностью обеспечения изгибающего момента на мембране (14) в направлении к подложке (12) так, что краевой участок (14a) мембраны (14) прижимается к подложке (12);причем напряженный слой (17) содержит отверстие (19).2. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) продолжается за пределы суммарной площади (А) мембраны.3. Ячейка по п. 1, в которой отверстие (19) напряженного слоя (17) больше, чем отверстие (15) мембраны (14).4. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) изготовлен из металла или металлического сплава.5. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) изготовлен из по меньшей мере одного материала, выбранного из группы, содержащей вольфрам (W), сплав титана и вольфрама (TiW), молибден (Mo) и молибден-хромовый сплав (MoCr).6. Ячейка по п. 1, в которой давление (P) сжатия мембраны (14) больше 1 бара, в частности больше 5 бар или 10 бар.7. Ячейка по п. 1, в которой диаметр мембраны (14) меньше 150 мкм.8. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая заглушку (30), расположенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) суммарной площади (А) мембраны, покрытой мембраной (14).9. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая покрывающий слой (40), расположенный на мембране (14) и/или на заглушке (30).10. Ячей�