Покрытие подложки, нанесенное на одну или более сторон - RU2012152277A

Реферат

1. Изобретение относится к способу покрытия одной или более сторон подложек каталитически активным материалом, содержащему расположение материала в условиях вакуума в вакуумной камере, где осуществляют следующие этапы:(a) загрузка в вакуумную камеру по меньшей мере одной подложки,(b) закрытие и откачивание воздуха из вакуумной камеры,(c) очистка подложки путем введения газообразного восстановителя в вакуумную камеру,(d) удаление газообразного восстановителя,(e) нанесение промежуточного слоя с помощью вакуумно-дугового нанесения, где подложку, содержащую такой же или подобный материал, вводят в вакуумную камеру,(f) установка температуры в вакуумной камере на величине от 150°С до 400°С,(g) нанесение покрытия с помощью вакуумно-дугового нанесения, где по меньшей мере один металл, выбранный из группы, содержащей рутений, иридий, титан и их смеси, вводят в вакуумную камеру и в ходе нанесения покрытия происходит подача кислорода,(h) на последнем этапе вакуумную камеру заливают повторно и подложку с нанесенным покрытием извлекают из камеры,где вышеуказанные этапы и переходы от одного этапа к другому осуществляют в вакууме, при необходимости, под воздействием разных давлений, которые устанавливают с помощью защитного газа,который отличается тем, чтопо меньшей мере 99% покрытия подложки на одной или более сторонах не содержит составляющих, которые изначально содержались в подложке, где по меньшей мере 99% покрытия, нанесенного на промежуточный слой, не содержит неокисленных металлов.2. Покрытие подложки по п.1, отличающееся тем, что покрытие подложки полностью не содержит составляющих, которые изначально содержались в подлож�