Система стабильного датчика высокой температуры/нагревателя с вольфрамом на aln и способ - RU2005102008A

Реферат

1. Система, содержащая изоляционную подложку (4), проводящий слой (2) на упомянутой подложке, который во всем заданном рабочем диапазоне температур имеет коэффициент расширения в пределах 1,00+/-0,07 относительно упомянутой подложки, является по существу не реагирующим с упомянутой подложкой и по существу не проявляет растворимости в твердом состоянии или взаимной диффузии с упомянутой подложкой, источник (70) сигнала, предназначенный для подачи электрического возбуждающего сигнала на упомянутый проводящий слой, и датчик (72), предназначенный для восприятия отклика упомянутого проводящего слоя на упомянутый возбуждающий сигнал.

2. Система по п.1, причем упомянутая подложка содержит AlN, а упомянутый проводящий слой содержит W.

3. Система по п.1, выполненная в качестве датчика температуры, в которой упомянутый источник сигнала подает ненагревающий электрический сигнал на упомянутый проводящий слой, а упомянутый датчик воспринимает отклик упомянутого проводящего слоя на упомянутый возбуждающий сигнал в качестве указания на температуру вблизи упомянутого датчика.

4. Система по п.1, в которой упомянутый источник сигнала подает сигнал для нагрева упомянутого проводящего слоя.

5. Система по п.4, в которой упомянутый датчик воспринимает отклик упомянутого проводящего слоя, указывающий на его температуру.

6. Система по п.5, также содержащая дополнительную изоляционную подложку (76) с дополнительным проводящим слоем (2) на ней, причем упомянутый источник сигнала подсоединен для подачи по существу ненагревающего электрического сигнала на упомянутый дополнительный проводящий слой, а датчик (72) подсоединен для восприятия отклика упомянутого дополнительного проводящего слоя в качестве указания на его температуру, при этом упомянутые дополнительная подложка и проводящий слой расположены ниже по потоку относительно упомянутых подложки и проводящего слоя на пути (64) потока текучей среды, причем разность температур между упомянутыми проводящим слоем и дополнительным проводящим слоем соответствует расходу текучей среды.

7. Система по п.1, причем упомянутые подложка и проводящий слой расположены на пути (64) потока текучей среды, упомянутый источник сигнала выполнен с возможностью управления для подачи возбуждающего сигнала, который нагревает упомянутый проводящий слой, причем упомянутый воспринимаемый упомянутым датчиком отклик соответствует расходу текучей среды вдоль упомянутого пути.

8. Система по п.1, причем упомянутые подложка и проводящий слой попеременно погружаются в заданную текучую среду (80) и выходят из нее, причем воспринимаемый упомянутым датчиком отклик указывает на то, находятся ли упомянутые подложка и проводящий слой в упомянутой текучей среде.

9. Система по п.1, в которой упомянутые подложка и проводящий слой расположены в окружающей среде (82) с изменяемым давлением, причем упомянутый датчик воспринимает отклик упомянутого проводящего слоя в качестве указания на давление в упомянутой окружающей среде.

10. Система по п.1, в которой упомянутые подложка и проводящий слой расположены в окружающей среде (86), в которой проводящий слой подвержен изменению под действием упомянутой окружающей среды, которая изменяет его отклик на данный возбуждающий сигнал, при этом зависимость между упомянутым возбуждающим сигналом и откликом указывает на химическую природу упомянутой окружающей среды.

11. Система по п.1, причем упомянутый проводящий слой содержит множество проводящих полосок, распределенных на упомянутой подложке.

12. Способ восприятия, включающий в себя подачу электрического возбуждающего сигнала на слой (2) W на подложке (4) из AlN, и восприятие отклика упомянутого слоя W на упомянутый возбуждающий сигнал.