Способ изготовления неиспаряемого геттера - RU2015143454A
Код документа: RU2015143454A
Формула
1. Способ изготовления неиспаряемого геттера, включающий изготовление последовательности слоев материала неиспаряемого геттера с заданными характеристиками посредством метода порошковой металлургии, отличающийся тем, что порошок слоев материала неиспаряемого геттера изготавливают с двумя различными заданными характеристиками, первый - титан-ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30 соответственно, второй - из смеси первого порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода при их соотношении в смеси, в вес.%, (80:20)-(99:1) соответственно, при этом среднеарифметический размер гранул первого порошка титан-ванадий составляет не более 70 мкм, при формовании слоев материала заготовки неиспаряемого геттера приготовленные порошки засыпают в пресс-форму в следующей прямой последовательности: титан-ванадий, смесь титан-ванадий и интеркалированный углерод, титан-ванадий, при этом каждый высотой, обеспечивающей заданную толщину соответствующего слоя материала неиспаряемого геттера, прессование заготовки осуществляют при давлении 100-1000 кг/см2, спекание заготовки осуществляют в вакуумной печи при температуре 900-990°С в течение (1,8-3,6)×103 с, охлаждают до комнатной температуры, вынимают заготовку неиспаряемого геттера из вакуумной печи, далее лицевую и обратную поверхности заготовки неиспаряемого геттера облучают лазерным излучением в инертной атмосфере с обеспечением одной части 30-70% наружной поверхности образца неиспаряемого геттера открытой пористости, другой части 70-30% - сплавной.
2. Способ изготовления неиспаряемого геттера по п. 1, отличающийся тем, что лицевую и обратную поверхности заготовки неиспаряемого геттера облучают лазерным излучением в инертной атмосфере, например гелия либо аргона.
3. Способ изготовления неиспаряемого геттера по п. 1, отличающийся тем, что одну часть 30-70% наружной поверхности заготовки неиспаряемого геттера открытой пористости, другую часть 70-30% - сплавной обеспечивают типом лазера и параметрами его работы, например посредством лазера СО2.
