Конформный датчик скорости воздуха с микроэлектромеханической системой (mems) - RU2015111359A

Реферат

1. Устройство, содержащее:гибкую конструкцию, имеющую внешнюю поверхность с первым сформированным в ней открытым каналом для воздуха, ипервый датчик давления, установленный в гибкой конструкции в положении с нижней стороны и сообщающийся по текучей среде с первым открытым каналом для воздуха.2. Устройство по п. 1, в котором гибкая конструкция содержит входное отверстие для отбора статического давления и камеру статического давления, сообщающуюся по текучей среде с указанных входным отверстием, причем первый датчик давления сообщается по текучей среде с камерой статического давления.3. Устройство по п. 1, в котором первый датчик давления представляет собой емкостной датчик дифференциального давления, содержащий микроэлектромеханическую систему, причем первый датчик давления дополнительно содержит деформируемую диафрагму-мембрану, имеющую сформированный на ней первый электрод, и подложку, имеющую сформированный на ней второй электрод, причем первый и второй электроды отделены друг от друга на расстояние, которое представляет собой функцию от отклонения деформируемой диафрагмы-мембраны.4. Устройство по п. 1, в котором первый открытый канал для воздуха содержит суженную часть, причем первый датчик давления расположен под суженной частью первого открытого канала для воздуха.5. Устройство по п. 1, в котором внешняя поверхность гибкой конструкции имеет второй сформированный в ней открытый канал для воздуха, а указанное устройство дополнительно содержит второй датчик давления, установленный в гибкой конструкции в положении с нижней стороны и сообщающийся по текучей среде со вторым открытым каналом для воздуха.6. Устройство по п. 5,