Устройства для текучих сред и способы изготовления таких устройств - RU2710567C1
Код документа: RU2710567C1
Реферат
Изобретение относится к многослойной структуре, в которой смежные слои имеют разные характеристики поглощения излучения и может быть использовано в биотехнологии, оптоэлектронике и микроэлектромеханических системах. Способ включает формирование рабочего пакета, содержащего первый слой подложки, второй слой подложки и поглощающий излучение материал, расположенный между первым слоем подложки и вторым слоем подложки. Рабочий пакет содержит полость, содержащую специальную жидкость. Поглощающий излучение материал, и по меньшей мере один слой из первого слоя подложки и второго слоя подложки ограничивают между собой граничную область соединения. Граничная область соединения содержит пленку указанной жидкости. Способ также включает направление излучения на граничную область соединения для формирования периметрального шва. Периметральный шов отделяет полость от внешней зоны граничной области соединения. Способ также включает направление излучения на внешнюю зону граничной области соединения для скрепления первого слоя подложки со вторым слоем подложки. Периметральный шов препятствует проникновению пузырьков из внешней зоны в полость, когда излучение направлено на внешнюю зону. Изобретение позволяет повысить прочность соединения подложки с поглощающим излучение материалом. 2 н. и 15 з.п. ф-лы, 22 ил.
