Схема эксплуатации и схема для эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика с аналоговым восстановлением - RU2009140386A

Реферат

1. Способ эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика, содержащего по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, сформированный двумя неподвижными электродами (Е1, Е2), между которыми упруго подвешен с возможностью отклонения под действием внешней силы подвижный центральный электрод (E0), согласно которому между неподвижными электродами и центральным электродом прикладывают одинаковые, но противоположно направленные возбуждающие напряжения (U0), а отклонение центрального электрода измеряют, отличающийся тем, что компенсируют часть заряда, которая может быть снята с центрального электрода и которая соответствует электростатической восстанавливающей силе и именуется помехой восстановления. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнал, соответствующий помехе восстановления (Ui), суммируют с выходным сигналом (Ua) основного устройства емкостного микроэлектромеханического датчика, а сумму выдают в виде выходного сигнала для считывания, который показывает отклонение центрального электрода. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что при работе датчика с замкнутой обратной связью указанный выходной сигнал через контроллер (CR) дополнительно воздействует на сигнал помехи восстановления, так что результирующая емкостная восстанавливающая сила противодействует отклонению центрального электрода с компенсацией этого отклонения. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что дрейф нулевой точки датчика предотвращают путем детерминированного изменения полярности возбуждающего напряжения (±U0). ! 5. Способ по п.2, отличающийся тем, что дрейф нулевой точки датчика предотвращают путем стохастического изме�