Методы управления по замкнутому контуру для датчиков перемещения с оптическим считыванием - RU2015112966A

Реферат

1. Устройство, содержащее:корпус;пробную массу, обладающую подвижностью в корпусе; иоптический датчик, выполненный с возможностью генерации сигнала перемещения, указывающего относительное перемещение пробной массы и корпуса.2. Устройство по п. 1, в котором оптический датчик содержит:один или более оптических элементов, выполненных с возможностью генерации оптической интерференционной картины, указывающей относительное перемещение пробной массы и корпуса.3. Устройство по п. 2, содержащее:дифракционный оптический элемент, установленный на одном из корпуса и пробной массы;отражающий элемент на другом из корпуса и пробной массы;источник света, выполненный с возможностью освещения оптического элемента и зеркала; иодин или более детекторов, выполненных с возможностью регистрации интерференционной картины, сгенерированной комбинированным светом, падающим от отражающего элемента и дифракционного элемента, и генерации сигнала перемещения.4. Устройство по п. 1 или 2, дополнительно содержащее электромагнитное устройство, выполненное с возможностью оказания влияния на относительное движение корпуса и пробной массы, по меньшей мере, частично на основании сигнала перемещения.5. Устройство по п. 4, в котором электромагнитное устройство содержит катушку, и катушка образует, по меньшей мере, часть пробной массы.6. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее магнит, выполненный с возможностью обеспечения магнитного поля в корпусе.7. Устройство по п. 6, в котором магнит содержит постоянный магнит.8. Устройство по п. 1, дополнительно содержащее систему подвески, соединяющую пробную массу к корпусу.9. Устройство по п. 8, в котором система подвески содержит одну