Устройство для введения реакционых газов в реакционную камеру и эпитаксиальный реактор, в котором используется указанное устройство - RU2007148476A

Реферат

1. Эпитаксиальный реактор (4) с реакционной камерой (40), содержащий: ! устройство (1) для введения реакционных газов в реакционную камеру реактора, причем устройство содержит газоподводящую трубку (2), ! средства, обеспечивающие образование потока реакционного газа внутри газоподводящей трубки (2) для того, чтобы ввести реакционный газ в реакционную камеру (40), и ! охлаждающий элемент (3), расположенный на одном конце подводящей трубки (2) и обеспечивающий охлаждение подводящей трубки (2) и, таким образом, проходящего внутри трубки газа, ! отличающийся тем, что подводящая трубка (2) не проходит внутри реакционной камеры (40). ! 2. Реактор по п.1, который содержит единственную трубку (2) для подведения единственного реакционного газа. ! 3. Реактор по п.1 или 2, в котором охлаждающий элемент (3) содержит оболочку (31, 32, 33), которая окружает один конец подводящей трубки (2). ! 4. Реактор по п.3, в котором оболочка (31, 32, 33) определяет границы полости и содержит средства (34, 35, 36), обеспечивающие возможность входа в нее, циркуляцию внутри и выход охлаждающей жидкости из полости (30). ! 5. Реактор по п.4, в котором охлаждающая среда является газообразной или жидкой. ! 6. Реактор по п.4 или 5, в котором средства включают входное отверстие (34) и выходное отверстие (35), причем отверстия образованы в оболочке (31, 32, 33). ! 7. Реактор по п.3, в котором оболочка (31, 32, 33) имеет по существу форму цилиндра (32), причем ось оболочки (31, 32, 33) и ось подводящей трубки (2) по существу параллельны и предпочтительно по существу совпадают. ! 8. Реактор по п.7, в котором оболочка (31, 32, 33) ограничена с одной стороны колпаком (31). ! 9. Реактор согласно п.6, в котором отверстия (34, 35) образованы со стороны (33) об